摘要
4aAuE0 h01 HX 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
YRXXutm uT'}_2=: g-0?8q5T6 Wj"\nT4 建模任务
^t&S?_DSZ "+oP((9 _d#1muZ?p| 仿真干涉条纹
raL!} iGxlB 4l/hh|3@ 走进VirtualLab Fusion
x;&01@m. eI8rnp(Ia vUEG0{8l (yjx+K_[ VirtualLab Fusion中的工作流程
"~R,%sYb( 4K_rL{s0U •设置输入场
_i_^s0J −基本光源
模型[教程视频]
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TI •使用导入的数据自定义表面轮廓
n[~kcF •定义元件的位置和方向
aDrF"j − LPD II:位置和方向[教程视频]
c418TjO; •正确设置通道以进行非
序列追迹
B?BB −非序列追迹的通道设置[用例]
`SdvXn •使用
参数运行检查影响/变化
YP*EDb?f −参数运行文档的使用[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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