摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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&MrG ,/ #7J3,EV 建模任务
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hJ8B&u( ~dsx|G?p 仿真干涉条纹
Kt"4<' z`dnS]q9 8rz,MsFR 走进VirtualLab Fusion
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J)Yg VhgcvS@V
*unJd"<*&@ EiA_9%< VirtualLab Fusion中的工作流程
T(kG"dz iA"H*0 •设置输入场
V4g vKWc −基本光源
模型[教程视频]
~~,#<g[ •使用导入的数据自定义表面轮廓
)Z`OkkabnD •定义元件的位置和方向
r?Pk}Q − LPD II:位置和方向[教程视频]
Wb{8WPS •正确设置通道以进行非
序列追迹
'&y+,2?;Y[ −非序列追迹的通道设置[用例]
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~R1 •使用
参数运行检查影响/变化
8{Wh4~|+ −参数运行文档的使用[用例]
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q0_Pl* jpfFJon)w VirtualLab Fusion技术
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