[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 +Xw%X3o)  
d)-ZL*o  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ~*1>)P8]#  
-&7?!<f
 

图片:1-191209152110491.png

%OgK{h  
w>f.@luO4  
建模任务 ;&J>a8B$  
I1>f2/$z*  

n~yHt/T  
仿真干涉条纹 -(TC'  
#3 E"Ame  
K!CVS7  
走进VirtualLab Fusion M5:.\0_  
n+sv2Wv:  

图片:1-191209152K5539.png

TM6wjHFm  
m-uXQS^@G  
VirtualLab Fusion中的工作流程 KdozB!\  
"W6cQsi  
•设置输入场 wX)'
1H):T  
−基本光源模型[教程视频] 7WmLC  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 cwvJH&%0  
•定义元件的位置和方向 \wz^Z{U  
− LPD II：位置和方向[教程视频] E va&/o?P|  
•正确设置通道以进行非序列追迹 kIS )*_  
−非序列追迹的通道设置[用例] iWjNK"W  
•使用参数运行检查影响/变化 l=XZBe*[g'  
−参数运行文档的使用[用例] "vybVWEE  
Bv~^keuj3t  

图片:1-191209152Tb56.png

\m)s"Sh.  
k0j4P^d  
VirtualLab Fusion技术 [/hoNCH!  
'vVt^h2