[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 9fVj 8G  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 mb\t/p  
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建模任务 2)LX^?7R  
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仿真干涉条纹 =Lw3 \5l  
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走进VirtualLab Fusion ;~tsF.=
 
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ?n*fy  
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•设置输入场 !UNNjBBP7  
−基本光源模型[教程视频] Wvr+
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 d(l|hmj4j9  
•定义元件的位置和方向 zO2{.4  
− LPD II：位置和方向[教程视频] x0x $  9  
•正确设置通道以进行非序列追迹 0$Ff#8  
−非序列追迹的通道设置[用例] F.KrZ3%4iB  
•使用参数运行检查影响/变化 m "]!I~jd  
−参数运行文档的使用[用例] mU]s7` %<>  
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VirtualLab Fusion技术 <d!6[,W;  
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