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摘要 ,K
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@>cz$##` gF#HNv 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 kUGOkSP8[ S6Y2(qdP 建模任务 Gh>&+UA'$1 ~G,_4}#"pM
\|&KD g[';1}/B4 由于组件倾斜引起的干涉条纹 "ngULpb{R f$ 9O0,}%O
( RO-~- +fS<YT 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )0+6^[Tqq ^F,sV*
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