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摘要 z< z*Wz G+0><,S
>A-<ZS*N M70c{s`w5 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ^NXcLEaP*< _`H.h6h 建模任务 !RS9%ES_? LH4>@YPGE#
7 _`L$<-n *c{wtl@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 m9Ax\lf mw_ E&v
rah,dVE] :M06 ;:e 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 sONBQ9 OA[&Za#w
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