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摘要 ;AE%f.Y Mta;6<
?mW;%d~] M^~ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 p$&6E\#7 .@;,'Xw1~ 建模任务 Nx"v|" O7\)C]A
^p!bteA> a3oSSkT 由于组件倾斜引起的干涉条纹 /pDI
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M)!:o/!c S 5zsXqBG 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 $;t#pN/` !;YQQ<D
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