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摘要 0zxeA+U _
o(h]G1].
>k#aB.6 18HHEW{ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 $3Ia+O c8s/`esA 建模任务 &ivIv[LV =+L>^w#6=
[P,nW/H Fo=6A[J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 TDGzXJf[ Z}C%%2Iz
;v'Y'!-J BkeP?X 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 u5ygbCm h:NXO'
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