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摘要 Gi=s|vt
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1O{(9nNj Zl4X,9Wt 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 uz%<K(:Ov pdFa] 建模任务 m: -)Zp"
1;8%\r[|5^ pSC\[%K 由于组件倾斜引起的干涉条纹 a(Fx1`} rUL_=>3
iT2{3t CNkI9>L=W` 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 f2f2&|7 (Q4hm ]<
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