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摘要
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05yZad* ;W>Cqg= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 !-`Cp3gqHr OU5*9_7. 建模任务 qyC=(v &k-Vcrcz
xx{!3 F y[B>~m8$ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ~Tbj=f 8UC xnf#
toN^0F?Qm ,p(<+6QZ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ^7zu<lX z#BR5jF
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