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摘要 [X"F}ph 9;L5#/E
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4]Z0; 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 T=NF5kj-= 2%|0c\y|z= 建模任务 91Fx0( ) Ekd
g ss 3e& (pU@$H 由于组件倾斜引起的干涉条纹
x+=Ko n[mVwQ(%
`[&) X NQFMExg, 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 _~{Nco7T +J`HI1
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