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摘要 hC:'L9Y 6$k#B ~~
R{#< NE \cIN]=# 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ff#7}9_mh ]<f)Rf">:` 建模任务 ANhtz1Fl ]nTeTW
h&<"jCjL 2zBk#c+ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ZLkl:'E_ *r`=hNr
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