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摘要 TTf
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`M@ESA(e
f<o|5r 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0h-NT\m &3vm
@ 建模任务 Kz'GAm\ ak 7%
K1
f1T vo/x`F'ib 由于组件倾斜引起的干涉条纹 LkbD='\= ib,`0=0= O
~WrpJjI[ l)r\SE1 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 +3,7 Apj F|%PiC,,qO
G|cjI* {O+T`;=)L
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