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摘要 Z3[S]jC _gKe%J&
L4uFNM] Sq:0w 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 iC
iZJ" -v6M< 建模任务 P0`Mdk371 JG{j)O|L
?g!V!VS2 &uC@|dbC5 由于组件倾斜引起的干涉条纹 e#/E~r& ]*7Y~dO
[r/k% < 5NJ4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 s1?[7yC jqr1V_3(
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