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摘要 S k\K4 ^ Q ?
ud@%5d kzUIZ/+ZL, 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 mLLDE;7|} 8\A#CQ5b 建模任务 `Cynj+PCe 9w"4K.
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!C)x m'=Crei 由于组件倾斜引起的干涉条纹 nV/G8SeI !@*7e:l
h_,i&d@( 0gP}zM73 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 bI9~jWgGp DgQpHF
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