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摘要 ]!n*V/g B.h0" vJ
$_4oN(WSz KteZK.+#: 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 DMy4"2
o :_W0Af09 建模任务 ,{#RrF e d,Im&j_Z
8#[%?}tK f(EYx)gZ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 B^E2UNRA {s9y@c*15.
-MVNXAKnZ \c5#\1< 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )Mm;9UA >\^N\&
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