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摘要 Eu2@%2}P /3{jeU.k
edD1 9A p@ 0Va 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]hRCB=G !/2uO5 建模任务 B*W)e$ :+06M@
UU~S{!*+L EVX*YGxx6 由于组件倾斜引起的干涉条纹 6B'd]Fe 9l<f?OzAO
>|IUjv2L Pv@Lx+k 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 {B+|",O5) <A"[Wk
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