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摘要 W6E9
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lk1c2 MDGcK/$')f 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 i ao/l }sd-X`lZ 建模任务 (GMKIw2 HI,1~Jw+
va95/( Qh? E*9 由于组件倾斜引起的干涉条纹 pvDr&n9 V`pTl3
C!Y|k.`p ]Qkto4DQ5 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 o-lb/=K+ os/~6
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