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摘要 ;,u7) ;AarpUw'
B :1r;8{j |c,'0V,"cH 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 xn7bb[g; ]5eZLXM 建模任务 byj7c( };8PPR)\y
X.ZY1vO ,aSK L1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 V"sm+0J k=5v
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+r__>V, N*>&XJ# 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 1f5;^T
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