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摘要 "64D.c(r$ BUU ) Sz
]Vd1fkXO0 zxy/V^mu 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ,H5o/qNU`{ ngl8) B 建模任务 T%@qlEmf `m\l#r2C
^03M~SNCj VR vX^w0 由于组件倾斜引起的干涉条纹 dk@iAL*v D*q:XO6b
xj.)iegQ f4+}k GJN 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 1*]@1DJt V w5@)l*f
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