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摘要 &q`q4g&7 <L{(Mj%Z
bJYda) *dvDap|8W 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %0$qP0|`3I xS7$%w[' 建模任务 kKPi:G52F hzI|A~MFB
% ,N< P\]B< 由于组件倾斜引起的干涉条纹 @xeAc0.^ Y!WG)u5
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'dp: 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 `xz<>g9e TZtjbD>B
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