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摘要 JC(rSs* ^rfY9qMJr8
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F A`TVV 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 9AD`,]b ,3.E]_3xX 建模任务 TUIj-HSe K19/M1~
nW3-)Q89 ^ ~:f02[D 由于组件倾斜引起的干涉条纹 hF s:9 NKvBNf|D
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RCe /1F%w8Iqh 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 l9lBhltOH }=z_3JfO
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