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摘要 -li;w
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9~@%T 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 DpL|aRdbK U,~Z 2L 建模任务 a
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\e?w8R.6w^ Qu|<1CrZj] 由于组件倾斜引起的干涉条纹 z'Fu} ho dJmr!bN\;
FK,YVY Aq &H-g]s 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Ar[$% \ 3l3,VYH
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