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摘要 %<S7 LD@7(?mlU
R"Y?iZed3 Rkr^Z?/GH 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 vU9~[I`^p QJ M(UfHUD 建模任务 E8;TLk4\ p5qx=p~c
%QE5<2k \6c8z/O7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 :xN8R^( Uf[T _
U$@83?O{iM o~}1oN 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 9C1b^^Kb 5)x6Q|-u
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