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摘要 "TS Bs;|D
p$E8Bn%[ lfN~A"X 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 o "z@&G" ^ &miexSNeF 建模任务 Uf\nFB? ^ j&R+2%
o<i,*y88 9QC.TG@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 d3;qsUh$yv \qh*E#j
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JY 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 h8e757z
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