摘要
<*5` TE0J i2n66d 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
LGPg\g` ~0Xx] xoNn'LF#u sH\ h{^ 建模任务
#4ii!ev Y\{&chuF @rxfOc0J# 光栅特性与参数的严格分析
S")*~)N@ :hUt7/3c 不同光栅周期下的衍射效率
l8By2{pN A3zO&4f
] Nt_7Z J_>nn 关于光栅周期选择的考虑
eLyaTOZadu y<n<uZ; @-Ln* 3n 7A46?kfu 偏振相关的衍射特性
`zMR?F` 7G9o%!D5 %!p/r` HD9+4~8 r_e]sOCb 8u bb~ B; }ygxmb^@Z H&=3rkX 通过参数优化进行光栅设计
?\Lf=[ 'EsdYx5C 固定周期的2D参数优化
iM{UB=C !-Md+I_ >d#Ks0\& 2D参数优化–设计1
,P$Crs[ $_b^p= G~`nLC^Y * 2s(TW 2D参数优化–设计2
^%2S,3*0 _,5) iV8O<en&i Pqb])-M9p 制造
公差分析–设计2
50^T\u TH#5j.uUs p/.[cH ^+q4* X6VB 变化光栅周期的3D参数优化
{B+{2;Zk zHW}A
`Rz {_1zIt| WbDD9ZS 制造公差分析
PvB-Cqc ;mLbgiqQ J ZsepTtY +q@g 走进
VirtualLab Fusion
R.B3
?^W`7H F%0 fN{JLp !ie'}|c VirtualLab Fusion中的工作流程
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c{k/
u •构造光栅
结构 n8vteGQ −
通过使用界面来配置光栅结构 @F%_{6h [用例]
/E0/)@pDq •分析光栅衍射效率
2%zJI"Ic −
光栅级次分析器[用例]
Ve\=By-a| •使用参数运行搜索初始解决方案
Z=\wI:TY1 −
参数运行文档的使用[用例]
j,i>
1|J •通过参数优化找到最终设计
gg%9EJpP r>gU*bs( VirtualLab Fusion技术
RFqf$ l4`HuNR1 [n{c, U
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