[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 E?0Vo%Vh  
l* z"wA-  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 DkEf;P  
Pj
P6^"  

图片:1-20021G15353423.png

-EJj j {  
jcp6-XM  
建模任务 _fdD4-2U  
)UtK9;@"  

图片:1-20021G15419564.png

!CdF,pd/)m  
光栅特性与参数的严格分析 7~~suQ{F4  
-(},%!-_  
不同光栅周期下的衍射效率 R"yxpw  
Px3I+VP  

图片:1-20021G15602G5.png

S.Q:O{]  
vScEQS$>  
关于光栅周期选择的考虑 j 8)*'T  
Ga_Pt8L6  

图片:1-20021G15641J8.png

?kK3%uJy&  
8!{ }WLwb  
偏振相关的衍射特性 _^g4/G#13c  
"A*;V  

图片:1-20021G15G0159.png

PXG@]$~3  
Y!`pF  

图片:1-20021G15I2201.png

!sp`oM  
3+\Zom4  

图片:1-20021G15P2594.png

UIkO_/}  
   *'*,mfk[  
通过参数优化进行光栅设计 `An p;el  
@?jbah
#  
固定周期的2D参数优化 $:yIe.F  
V|TD+7.`QB  

图片:1-20021G15RaL.png

S5:&_&R8[  
2D参数优化–设计1 Nt;1&dwUb  
1*e7NJ/.,  

图片:1-20021G15Z4258.png

}KYOde@  

u_}UU 2  
2D参数优化–设计2 yFn~rv
|&G  
+,g!xv4Q  

图片:1-20021G20004394.png

G?,"AA;  
[&
IcIZ  
制造公差分析–设计2 *+k yuY J  
@ M4m!;rM  

图片:1-20021G2002JX.png

PC\p>6xT  
B6j/"x6N15  
变化光栅周期的3D参数优化 oVr:ZwkG3  
PI@?I&
Bo  

图片:1-20021G20100c0.png

E`.:V<KW/  
3ZN\F  
制造公差分析 d+vAm3.Dg  
K%W;-W*'  

图片:1-20021G20120954.png

,:#h;4!VRF  
(J?_~(,`"  
走进VirtualLab Fusion &'`ki0Xh;  
g<ov` bF  

图片:1-20021G20141219.png

!xBJJ/K+|  
1JJ1!& >  
VirtualLab Fusion中的工作流程 lWH#/5`h  
vL;>A]oM2  

图片:1-20021G20205237.png

@FZ_[CYg  
#|3,DZ|)F  
•构造光栅结构 cml~Oepf  
−通过使用界面来配置光栅结构 AyW=.  
[用例] JIjo^zOXsc  
•分析光栅衍射效率 ao0^;  
−光栅级次分析器[用例] >JA>np  
•使用参数运行搜索初始解决方案 hT,rcIkg:  
−参数运行文档的使用[用例] mfF `K2R  
•通过参数优化找到最终设计 `DE_<l  
CbXSJDs  
VirtualLab Fusion技术 x3( ->?)D  
H}lz_#Z  

图片:1-20021G2025W62.png

   2.=G