摘要
oJ)v6"j u&ozc 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
I'16- uB uwE6 X+k`UM~ G@]|/kN1y 建模任务
>dqeGM7Np> aQhr$aH AZjj71UE 光栅特性与参数的严格分析
1'g{tP"d de?lO;8 不同光栅周期下的衍射效率
HA%r:Px lIF*$#`oh* 'l3K*lck i3\6*$Ug 关于光栅周期选择的考虑
5mYI5~
p ]gGCy '*) qfzT8-Y s|=.L&" 偏振相关的衍射特性
Pxm~2PAm 1f`=U0 jo8;S?+<|? Z
]WA-Q6n E8.xmTq }D&fw=r"M IKV:J9 tqo!WuZAj 通过参数优化进行光栅设计
HR83{B21 vVi))%&S( 固定周期的2D参数优化
,0Y5O?pu\ NQ(}rr'. j?n:"@!G/ 2D参数优化–设计1
.8%mi'0ud l6Q75i)eF N~An}QX| ZXj;ymC' 2D参数优化–设计2
2x*C1
UPkD^D, t7p`A8& Soa5TM 制造
公差分析–设计2
UMJ>6Ko8 K9y!ZoB !*gTC1bvB {E~MqrX 变化光栅周期的3D参数优化
7E9h!<5v 6uijxia z!I(B^)BkT x@]pUA1 制造公差分析
JDzkv%E^ uvrfR?%QK AT{ewb ,JcQp=g 走进
VirtualLab Fusion
d6.9]V? ,{{uRs/ vx\h
Njb ,SAS\!hsE VirtualLab Fusion中的工作流程
=R^V[zTn_ WqC6c&NM 9R"bo*RIS ^E7>!Lbvx •构造光栅
结构 Tdr^~dcQ −
通过使用界面来配置光栅结构 M9@#W" [用例]
F=hfbCF5x •分析光栅衍射效率
gi7As$+E −
光栅级次分析器[用例]
6#k
Ap+g7 •使用参数运行搜索初始解决方案
{O,Cc$_ −
参数运行文档的使用[用例]
1lNg} !)[K •通过参数优化找到最终设计
s.rS06x OZ q/'* VirtualLab Fusion技术
g'`J'6Pn D(&${Mnac <)]B$~(a