摘要
.A&Ey5 rV[#4,} PF 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
uy~5!i& *8kg6v% zf5s\w.4 M5: f^ 建模任务
W6E9
iG6 ^s62z7 C>:F4"0 光栅特性与参数的严格分析
nxA]EFS MDGcK/$')f 不同光栅周期下的衍射效率
v}+axu/? rcF;Lp : xAjLn*d|N ~AS2$ 关于光栅周期选择的考虑
<E&1HeP %R7Q`!@8 p%]*I? NA]7qb%%< 偏振相关的衍射特性
*<Fz1~%* {{tH$j?Q !5?#^q }Xrs"u, )j',e$m ^ Gq2"rDM *jTr JihI1C 通过参数优化进行光栅设计
F,11 \j ^h1VCyoR* 固定周期的2D参数优化
'R*xg2!i
!|9$ 5w@ ;B 2D参数优化–设计1
c^6v7wT5 gK-: t wkdd&Nw; o%Vf#W 2D参数优化–设计2
":Kn@S'{( l(v$+ i74^J +xk zt[TShD^ 制造
公差分析–设计2
Mpk^e_9`< SV<*qz E,c~.jYc 2GqPS 变化光栅周期的3D参数优化
JAC W#'4hV 7. G [YHvyfk~_ #Vs/1y`() 制造公差分析
xp)#a_} >-s}1*^=oD u5H#(&Om a_waLH/ 走进
VirtualLab Fusion
AU^Wy|i5Q CBnD)1b\ @Sq=#f/= MeQ(,irr^ VirtualLab Fusion中的工作流程
r?{Vqephz <j ;HRm +(/XMx}a Wq<>a;m •构造光栅
结构 qt^%jIv −
通过使用界面来配置光栅结构 66p_d'U [用例]
yZ0; \Tr*J •分析光栅衍射效率
<j:3<''o −
光栅级次分析器[用例]
nI2}E •使用参数运行搜索初始解决方案
UM|GX −
参数运行文档的使用[用例]
P^rSpS9 •通过参数优化找到最终设计
n\,TW&3 K ANE"M VirtualLab Fusion技术
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