[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 oJ)v6"j  
u&ozc  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I'16-  
uB uwE6  
X+k`UM~  
G@]|/kN1y  
建模任务 >dqeGM7Np>  
aQhr$aH  
AZjj71UE  
光栅特性与参数的严格分析 1'g{tP"d  
de?lO;8  
不同光栅周期下的衍射效率 HA%r
:Px  
lIF*$#`oh*  
'l3K*lck  
i3\6*$Ug  
关于光栅周期选择的考虑 5mYI5~ p  
]gGCy '*)  
qfzT8-Y  
s|=.L&"   
偏振相关的衍射特性 Pxm~2PAm  
1f`=U0  
jo8;S?+<|?  
Z ]WA-Q6n  
E8.xmTq  
}D&fw=r"M  
IKV:J
9  
   tqo!WuZAj  
通过参数优化进行光栅设计 HR83{B21  
vVi))%&S(  
固定周期的2D参数优化 ,0Y5O?pu\  
NQ(}rr'.  
j?n:"@!G/  
2D参数优化–设计1 .8%mi'0ud  
l6Q75i)eF  
N~An}QX|  
ZXj;ymC'  
2D参数优化–设计2 2x*C1   
UPkD^
D,  
t7p`A8
&  
Soa5TM  
制造公差分析–设计2 UMJ>6Ko8  
K9y!ZoB  
!*gTC1bvB  
{E~MqrX  
变化光栅周期的3D参数优化 7E9h!<5v  
6uijxia  
z!I(B^)BkT  
x@]pUA1  
制造公差分析 JDzkv%E^  
uvrfR?%QK  
AT{ewb  
 ,JcQp=g  
走进VirtualLab Fusion d6.9]V?  
,{{uRs/  
vx\h Njb  
,SAS\!hsE  
VirtualLab Fusion中的工作流程 =R^V[zTn_  
WqC6c&NM  
9R"bo*RIS  
^E7>!Lbvx  
•构造光栅结构 Tdr^~dcQ  
−通过使用界面来配置光栅结构 M9
@#W"  
[用例] F=hfbCF5x  
•分析光栅衍射效率 gi7As$+E  
−光栅级次分析器[用例] 6#k Ap+g7  
•使用参数运行搜索初始解决方案 {O,Cc$_  
−参数运行文档的使用[用例] 1lNg} !)[K  
•通过参数优化找到最终设计 s.rS06x  
OZ q/'*  
VirtualLab Fusion技术 g'`J'6Pn  
D(&${Mnac  
   <)]B$~(a