摘要
Cb? !+U 1hgIR^;[b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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M:%g)FgW 3C%|src 建模任务
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r"h09suZBW 光栅特性与参数的严格分析
1+N'cB!y <Z 3C&BM 不同光栅周期下的衍射效率
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U,v`md@PX 5CN=a2& 关于光栅周期选择的考虑
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a6./;OC bO/r1W 偏振相关的衍射特性
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6O6B8 hp2E! C ma 通过参数优化进行光栅设计
p.g> +7 3MHpP5C 固定周期的2D参数优化
zx=eqN@!@ a]V8F&)g#
/]Y#*r8jRi 2D参数优化–设计1
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5Wa)_@qI)` *f;$5B#^ 2D参数优化–设计2
s-Yu(X2
&R4?]I
RxJbQs$Ph hf9i%,J 制造
公差分析–设计2
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'R+^+urq^ fDB.r$|d 变化光栅周期的3D参数优化
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:KX*j$5U *#}=>, v 制造公差分析
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45.g ; R,PN?aj 走进
VirtualLab Fusion
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2'M5+[8y8 i7h^L)M VirtualLab Fusion中的工作流程
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#BBDI XZ@+aG_%q •构造光栅
结构 L{>rN`{ −
通过使用界面来配置光栅结构 ;k#_/c [用例]
PZV>A!7C8n •分析光栅衍射效率
w)vpo/? −
光栅级次分析器[用例]
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vN- •使用参数运行搜索初始解决方案
PV"\9OIKb. −
参数运行文档的使用[用例]
Y)]VlV!` •通过参数优化找到最终设计
W9c&"T9JT ^J7q,tvbJ VirtualLab Fusion技术
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