摘要
H9'psv #|+4 `Gf^ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
W=g'Xu!|!2 2aR9vmR \^pc"?Rc U<F|A!Fg 建模任务
!\VEUF,K? oM>UIDCY_v 3H<%\SYp 光栅特性与参数的严格分析
gT+wn-3 y5c\\e 不同光栅周期下的衍射效率
4dN <B U ->OVNmCB`+ EF$ASNh" >Mh\jt\ 关于光栅周期选择的考虑
`e;r$Vpd_ t%e<]2-8 :B=Gb8? I.Catm2 偏振相关的衍射特性
D=%1?8K ?Hdu=+ZV ^kC!a>& }'}n~cA.{ nVoWER: yMyvX_UNI X}]A_G PP\ bDEPy 通过参数优化进行光栅设计
a6xo U;T Yh^8
! 固定周期的2D参数优化
/~".GZ&29 dPpJDY0 A4rMJ+!5 2D参数优化–设计1
yFeFI@Hp 3 OXpN8Dh5 IIT[^_g \K"7U 2D参数优化–设计2
Vh;|qF 9 iF
+@aA (f_YgQEL o_b3G 制造
公差分析–设计2
U8N X%*oW 3O-vO=D _OjZ>j<B. w
oIZFus 变化光栅周期的3D参数优化
'wYIJK~1
dR_6j} g5pFr=NV ;ow)N <Z 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
.hG*mXw> ?M|1'`!c8 EN[T3 Y EFx>Hu/[G VirtualLab Fusion中的工作流程
_()1"5{ 'oY#a9~Z{ }@t"B9D o9sPyY$aQ •构造光栅
结构 {K"hlu[ −
通过使用界面来配置光栅结构 a:l-cZ/! [用例]
j%y{d(Q4 •分析光栅衍射效率
ZB)R4 −
光栅级次分析器[用例]
eC%Skw •使用参数运行搜索初始解决方案
rOE:
ap|KL −
参数运行文档的使用[用例]
<},JWV3 •通过参数优化找到最终设计
&wY$G! P pZ\7!rON VirtualLab Fusion技术
vC@^B)5gb Xj{fM\,"9 6i+,/vr