[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 T&!ZD2I  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +yiU@K).0  
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建模任务 .2/,XwIr  
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光栅特性与参数的严格分析 h9U+%=^O  
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不同光栅周期下的衍射效率 9Dy)nm^  
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关于光栅周期选择的考虑 <TL])@da  
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偏振相关的衍射特性 TdNsyr}JG  
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通过参数优化进行光栅设计 W3"vTZJF  
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固定周期的2D参数优化 k:`a+LiZ  
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2D参数优化–设计1 *m iONc  
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2D参数优化–设计2 pb~Ps#"Zg  
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制造公差分析–设计2 P>.Y)$`r  
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变化光栅周期的3D参数优化 >3<&V{<
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制造公差分析 MoZU(j  
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走进VirtualLab Fusion YhEiN. ~  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ]|H]9mys98  
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•构造光栅结构 x&mz-  
−通过使用界面来配置光栅结构 V5hp Y ]  
[用例] pE9aT5 L  
•分析光栅衍射效率 iuvtj]/  
−光栅级次分析器[用例] 9{auleu R  
•使用参数运行搜索初始解决方案 l|4xKBCV]  
−参数运行文档的使用[用例] z:0-aDeM  
•通过参数优化找到最终设计 T2c_vY  
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VirtualLab Fusion技术 7vB9K_wCI  
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   ^EnNbFI