摘要
I~P]_DmM Hwm]l`E] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
f6-OR]R5 y72=d?]W [qGj*`@C 9H4NvB{ 建模任务
MZInS:Vj tHV81F1J ('7qJkV 光栅特性与参数的严格分析
GH!Lu\y\ Fj~,> 不同光栅周期下的衍射效率
V]$J&aD j)neVPf%v :#=XT9 ekx~svcC&A 关于光栅周期选择的考虑
*D$[@-7 )cd5iE:FO Ps!~miN|> P7`sJ("# 偏振相关的衍射特性
+:&,Ts/ 0X"D!G): "TboIABp:H LmQS;/: _9Zwg+oO[ pa@@S$( a*gzVE7W#n ySk'#\d 通过参数优化进行光栅设计
y6*9, CF vUU)zZB~ 固定周期的2D参数优化
ya^zlj\`0e !.nyIA( Fs,#d%4 @% 2D参数优化–设计1
p#eai (dh{Gk4=+ .+ w#n<
1:+f@# 2D参数优化–设计2
sAG#M\A6 O!7v&$]1 E 9LKVs} 97%S{_2m/ 制造
公差分析–设计2
N @24)g? mDT"%I"4j `X06JTqf: mrgieb% 变化光栅周期的3D参数优化
O*8.kqlgt =83FCq" XpH]CF muc>4!Q 制造公差分析
\<bar ~ ~rWys= `(rnD @FBlF$vG 走进
VirtualLab Fusion
n7r )wy y@ 'm D*z -t:~d: LR5X=&k VirtualLab Fusion中的工作流程
O"D0+BK79e l".LtUf- CQ`$' oy?W X{j`H\'L •构造光栅
结构 ,'E+f% −
通过使用界面来配置光栅结构 ]26
Q*.1~ [用例]
,o3{?o]s •分析光栅衍射效率
9 ^G.]W] −
光栅级次分析器[用例]
=68CR[H •使用参数运行搜索初始解决方案
cM= ?{W7~ −
参数运行文档的使用[用例]
bh9!OqK9K •通过参数优化找到最终设计
aWe?n; NZ}DbA+g;| VirtualLab Fusion技术
Z+qTMm 3j]P\T n%M-L[n