摘要
i7~oZ)w yZ:|wxVY 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
ZLvw]N&R +Z XGT 6\86E$f=h 2W
pe(
\( 建模任务
Y,D\_il_ kyJv,!}; "!)8bTW 光栅特性与参数的严格分析
pmCBe6n\l kt1f2cj 不同光栅周期下的衍射效率
~E^EF{h
z>j%-3_1 5*buRYck0 cXJgdBwo 关于光栅周期选择的考虑
wri[#D { af{;4Cr xSb/98; uMsKF %m 偏振相关的衍射特性
v03~=( c%~'[W04\ mS~3 QV q1dYiG.-Z ECkfFE` ~73"AWlp wX 41R]pF 8zj09T[ 通过参数优化进行光栅设计
_;01/V"q6 ( kp}mSw 固定周期的2D参数优化
Wc3!aLNx kq%`9,XE (%0X\zvu/ 2D参数优化–设计1
qC\$>QU} x6DH0*[. 6%S>~L66 g8kw|BgnL 2D参数优化–设计2
4kXx(FE #UND'c(5 r.ajw&J2 FeV=4tsy 制造
公差分析–设计2
A v2 _A $E7yJ|p{ uaDU+ywL *)]SsM1 变化光栅周期的3D参数优化
^|sxbP W>@%d`>o5 rW\~s TH C)C;U&Qd 制造公差分析
bkOm/8k|4 3b&W=1J %Vt@7SwRJ G~esSL^G/ 走进
VirtualLab Fusion
&H4UVI D[tGbk },Z-w_H 5R ec}H VirtualLab Fusion中的工作流程
]hf4= gm a|s= d ,}2j
Fb9z4 H>7!+&M •构造光栅
结构 +$
-#V −
通过使用界面来配置光栅结构 b&_p"8)_ [用例]
I(7gmCV •分析光栅衍射效率
1$Hf`h2 −
光栅级次分析器[用例]
pP/o2 •使用参数运行搜索初始解决方案
lmc-ofEv −
参数运行文档的使用[用例]
6nq.~f2` •通过参数优化找到最终设计
ZR QPOy ;q^YDZ' VirtualLab Fusion技术
J2cNwhZ 11-uJVO~* #&5\1Qu