摘要
G0`h % HQUeWCN 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Mmo6MZ^ J[A14z]#` B!dU>0&Ct wO:Sg=, 建模任务
a@@M+9Q >_c5r?]S G "]m+z)lWd 光栅特性与参数的严格分析
-pU|hSW*b Ti2Ls5H} 不同光栅周期下的衍射效率
Q~MC7-n> QJ
F=UB ik"sq}u_]E K]qM~v<A 关于光栅周期选择的考虑
Yz4_vePh+5 <W`#gn0b6 :LWn<,4F& J0
k 偏振相关的衍射特性
7R3fqU.Rq nLwiCfe ui"3ak+F zP:cE L>!8YUz7p$ uk9g<<3T -w;(cE `/"nTB 通过参数优化进行光栅设计
Gy,u^lkk: K.%U 固定周期的2D参数优化
2[B4f7 ]&ixhW 0l=+$&D 2D参数优化–设计1
E"%2) 'JdkUhq1V :^'O}2NP T#
lP!c 2D参数优化–设计2
FZ|CqD"# !j1[$% =# nx:KoB"ny rVtw-[p 制造
公差分析–设计2
7l."b$U4yv 4Hb $0l tu>{ Vvt ; 变化光栅周期的3D参数优化
W%e_~$H0 [ U8$HQ+x 6*nAo8gl $&Kq*m 0g 制造公差分析
sVoW=4V8 h{}mBQl ?Pwx~[<1"" 3ta$L"a 走进
VirtualLab Fusion
{%.Lk'#9 F52B~@. #.5vC5 m,> VirtualLab Fusion中的工作流程
h(B,d,q" a$9A(Pte j2M+]Zp. b[@VYa •构造光栅
结构 'R9g7,53R −
通过使用界面来配置光栅结构 "PH6e bm [用例]
~%ozgzr^ •分析光栅衍射效率
;pJ2V2 g8 −
光栅级次分析器[用例]
4ZC!SgJo •使用参数运行搜索初始解决方案
PzZZ>7_6S −
参数运行文档的使用[用例]
sk2% •通过参数优化找到最终设计
2UP,Tgn.. TNY4z(r VirtualLab Fusion技术
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