摘要
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`H+ @ljZw( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
#% qqL rx{#+iw +OKA_b"wB rT o%=0P 建模任务
p-a]"l+L ADTU{6UPS gp%tMTI1 光栅特性与参数的严格分析
?Z5$0-g'hU DCz\TwzU 不同光栅周期下的衍射效率
sek6+#|= LxIuxt=X|p Xx=K?Z?3. B6-AIPb 关于光栅周期选择的考虑
FyQOa) 5 G &m>Ov$#& 'Dnq+ {|G&W^` 偏振相关的衍射特性
1LV|t+Sex #@IQlqJfY7 "pR $cS _CHKh*KHML !d/`[9jY [''=>< [ e$]pN% G1,Ro1 通过参数优化进行光栅设计
bBd *}"v^" jY1^+y{ 固定周期的2D参数优化
Kw)C{L5a o,iS&U"TC )tJL@Qo 2D参数优化–设计1
$XU-[OF%:9 x*3@,GmZl VG? yL2y >eTf}#s?S 2D参数优化–设计2
Z#H@BWN7 ':5U& T9aTEsA[U i(dXA(p 制造
公差分析–设计2
b=6ZdN1 >?H_A 3 ATN?V@ `PXoJl 变化光栅周期的3D参数优化
@`#OC# :/n
?4K^ LX&=uv%-^ 0b!fWS?,k0 制造公差分析
1',+&2)oj 8Xt=eL/P W+fkWq7`Xx }s8*QfK> 走进
VirtualLab Fusion
Z3&XTsq M)bC%(xJ ',v0vyO8 T1Ln)CS?9 VirtualLab Fusion中的工作流程
DR#3njjEC sIP6GWK$ C={sE*&dYX Ip1QVND •构造光栅
结构 Xmw2$MCB −
通过使用界面来配置光栅结构 l%v hV& [用例]
J-HabHv •分析光栅衍射效率
wFH(.E0@Q −
光栅级次分析器[用例]
y0W`E/1t •使用参数运行搜索初始解决方案
/0'fcjOaQ −
参数运行文档的使用[用例]
y"{UNM|R •通过参数优化找到最终设计
7]0\[9DyJ 5Lo==jHif VirtualLab Fusion技术
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