摘要
+r z{%<<pZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Ij7p'a *[Imn\hu 建模任务
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[CTnXb 光栅特性与参数的严格分析
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3xy<tqfr WSPI|#Xr% 关于光栅周期选择的考虑
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Ex.yU{|c =?5]()'*n 偏振相关的衍射特性
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qfX6TV5J}! k<z)WNBf 通过参数优化进行光栅设计
A_rGt?i a6ekG YW 固定周期的2D参数优化
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q#~ (/ 2D参数优化–设计1
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g9OY<w5s] UklUw 2D参数优化–设计2
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v6|RJt? }YQX~=" 制造
公差分析–设计2
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@?ebuj5{e rDtY[ 变化光栅周期的3D参数优化
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{PEx 7lTC{7C57 制造公差分析
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\eTwXe]Pv j\yjc/m 走进
VirtualLab Fusion
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/|w6:;$;mn 3l]lwV VirtualLab Fusion中的工作流程
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wKh4|Ka ]Ee?6]bN •构造光栅
结构 m~BAyk^jo3 −
通过使用界面来配置光栅结构 JBj]najN [用例]
_{ue8kGt •分析光栅衍射效率
%X]jaX7 −
光栅级次分析器[用例]
(le9q5Qr. •使用参数运行搜索初始解决方案
B^=-Z8 −
参数运行文档的使用[用例]
ejKucEgD •通过参数优化找到最终设计
_`$qBw.Nx cdH>n) VirtualLab Fusion技术
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