摘要
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0J _ft)e3Gf 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
#n5DK{e ).8i*Ys,: 4Up3x+bg Wb7z&vj 建模任务
[? 1m6u; Ev)aXP :VvJx] 光栅特性与参数的严格分析
IW&.JNcN K;NaiRP#k 不同光栅周期下的衍射效率
MB#KLTwnT 9si,z ,<cF<9h n?EL\B 关于光栅周期选择的考虑
*
SHQ[L4{ wfJ["
q "KhVS U*R 偏振相关的衍射特性
t%'0uB#v1 M9J^;3Lrh Ozo)} f|cF[&wo d$O)k+j NU#rv%p =JK# "' ;i,:F`b~ 通过参数优化进行光栅设计
{R{Io| LqOjVQxz 固定周期的2D参数优化
\~{b;$N} S^/:O.X)c, {zj<nu 2D参数优化–设计1
xn`<g|"# 6lKM5,Oa TXDb5ZCzM HbUadPr 2D参数优化–设计2
S$egsK"~ j}devpO wsg u# as| 1qgzb 制造
公差分析–设计2
YJ[Jo3M@j0 .}6Mj]7?i H>/LC* 8- KDmzKOl 变化光栅周期的3D参数优化
A8by5qU g'Id31r' (q|EC; C $r]]MSj 制造公差分析
U if61)+!i :: 2pDtMS kpU-//lk+ u3XQ<N{Gj 走进
VirtualLab Fusion
$!-a)U,w$B /t<C_lLM m@W\Pic,j. TiF2c#Q*y VirtualLab Fusion中的工作流程
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iZ"? )ZP-t!).G# .!&S{;Vv?W •构造光栅
结构 oB8x_0#n −
通过使用界面来配置光栅结构 [61T$ . [用例]
DwLl}{r' •分析光栅衍射效率
B2uLfi$q −
光栅级次分析器[用例]
!]v &/ •使用参数运行搜索初始解决方案
EEJsNF −
参数运行文档的使用[用例]
;%V%6:5 •通过参数优化找到最终设计
z12c9k%s L9FijF7 VirtualLab Fusion技术
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