摘要
F~a5yW:R=) wd*T"V3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&g,K5at I>/`W 建模任务
KGi@H%NN 2 T{PIJg3
~QBf78@Gf 光栅特性与参数的严格分析
S,AZrgh,"X aC3\Hs 不同光栅周期下的衍射效率
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xx;'WL,g nIph[Vs-Z 关于光栅周期选择的考虑
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spO?5#
XP2=x_"y 8f^URN<x 偏振相关的衍射特性
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}WI24|`zM .e.vh:Sz 通过参数优化进行光栅设计
I4|p;\`fK ^fK8~g;rB 固定周期的2D参数优化
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MiRH i<g0 2D参数优化–设计1
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L m}uF&|5
8QC:ro W]Ph:O^5c 2D参数优化–设计2
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;;nmF# m(OBk;S~ 制造
公差分析–设计2
)1x333.[c LiV]!*9$KG
UO:>^,(j `SW`d<+L 变化光栅周期的3D参数优化
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6@F Z,e _l8oB) 制造公差分析
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nAts.pVy" ?q,x?`|(8 走进
VirtualLab Fusion
$(CHwG- R*&3i$S
N@d4) i-ogeR? VirtualLab Fusion中的工作流程
>LLz G [e^i".
'M'LJ.,"/ "t\9@nzdX •构造光栅
结构 R,^FJ −
通过使用界面来配置光栅结构 @K+u+}
R [用例]
5cE[s<= •分析光栅衍射效率
X*Q7Yu −
光栅级次分析器[用例]
'Gt`3qG •使用参数运行搜索初始解决方案
V&}Z# 9Dx −
参数运行文档的使用[用例]
>=Rb:#UM •通过参数优化找到最终设计
0>?mF]M 9a4RW}S< VirtualLab Fusion技术
4PF4# X|q0m3jt
C3<3