摘要
w5z]=dN 4>(K~v5;N 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
\y7?w*K 9,fV W_XFTqp^ #:" ]-u^ 建模任务
HJr/N)d 1tXc7NA< n`=S&oKH 光栅特性与参数的严格分析
EG\L]fmD 9-n]_AF`0 不同光栅周期下的衍射效率
il>+jVr ^(&2 SsX$l<t* :G#%+, 关于光栅周期选择的考虑
Q+f|.0r _LF'0s* 8GxT! U+VJiz<! 偏振相关的衍射特性
n^QDMyC;I q"Bd-?9 S*}GW-)oA :C;fEJN hak#Iz0[C |g7)A?2J~ 1%M^MT%& fXevr ` 通过参数优化进行光栅设计
,~;`@ `*CoVx~fk 固定周期的2D参数优化
a?Om;-i2`S lJa-O ])pX)(a 2D参数优化–设计1
crd|r." AkjoD7.* &/EZn xl 3>(~5 2D参数优化–设计2
f~d=1 R(Vd[EGY *QW.#y>"j _)-2h[ 制造
公差分析–设计2
,S(_YS^m :%Z)u:~': .WOF:Nu4
MS SHMR 变化光栅周期的3D参数优化
EHe-wC 3!;o\bgK 0T3r#zQ 3I?yRE 制造公差分析
\mN?5QCcE (`n*d3 -GgV&%'a 6w<p1qhW 走进
VirtualLab Fusion
g 'L$m| #tPy0QH 'iYaA-9j W6B o\UK VirtualLab Fusion中的工作流程
r'}#usB( b(ryk./ogx ,v| vgt QL(}k)dB •构造光栅
结构 # 9f
4{=\ −
通过使用界面来配置光栅结构 [0+5 Gx [用例]
x^F2Ywp% •分析光栅衍射效率
43J8PMY −
光栅级次分析器[用例]
qmnCa&C9 •使用参数运行搜索初始解决方案
/` x|-9 −
参数运行文档的使用[用例]
,@gDY9Q3r/ •通过参数优化找到最终设计
Qzk/oHs Hi{!<e2 VirtualLab Fusion技术
N~arxe(K 6a`_i a-TsD}'X