摘要
g<W]NYm N3n] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
AG@gOm x#D%3v"l_* /Sw~<B!8N k&ci5MpN 建模任务
SIJ7Y{\. [iub}e0 mgAjD. 光栅特性与参数的严格分析
+'<PW+U$ .N X9Ab 不同光栅周期下的衍射效率
@N4_){s* {aY) Qv} gyw=1q+ y2jv84
M 关于光栅周期选择的考虑
DM^0[3XuV5 '~D4%WKT
'"B $oBs%.Jp 偏振相关的衍射特性
yE8D^M|g r&]XNq'P9 d`^3fr'.4A
8G:/f3B= o$*(N {N4 'g_ L 4j#0I]lq 4&mY-N7A 通过参数优化进行光栅设计
oy^-?+ |]?f6^|4 固定周期的2D参数优化
lL)f-8DX %R0 Wq4} >3!~U.AA'x 2D参数优化–设计1
/mkT7,] q<&1,^A ihrf/b J!uG/Us 2D参数优化–设计2
d&+]@ Ii \l GD8@,x `MI\/oM@ *9\j1Nd 制造
公差分析–设计2
hVzyvpw 4 Ej->T. u7< +)6- A9xeOy8e 变化光栅周期的3D参数优化
Tb i?AJa} wN[lC|1c \CjJa(vV )'+[,z ;s 制造公差分析
Cbff:IP 32ki ?\P 5P!ZGbG sX1DbEjj[o 走进
VirtualLab Fusion
eFiG:LS7 ]}L'jK
0 V4,Gt]4 IC
cr VirtualLab Fusion中的工作流程
##jJaSxG w%]) <XLae'R j\ y! •构造光栅
结构 ;Nn( −
通过使用界面来配置光栅结构 ~+\=X`y [用例]
UR'[? •分析光栅衍射效率
q;eb −
光栅级次分析器[用例]
b}qfOgd5 •使用参数运行搜索初始解决方案
mjD^iu8? −
参数运行文档的使用[用例]
c(Dp`f, •通过参数优化找到最终设计
DT]4C!dh vMz|'-rm$ VirtualLab Fusion技术
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