摘要
r3KV.##u, beq)Frn^ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Bz24U wcZ ucMl>G'!gX 建模任务
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Kj-`ru 光栅特性与参数的严格分析
2S/^"IM[" [szwPNQ_ 不同光栅周期下的衍射效率
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*{tJ3<t(1 eDy}_By^ 关于光栅周期选择的考虑
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; id {~=[d`t 偏振相关的衍射特性
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BE SR\#>Qwx_ 通过参数优化进行光栅设计
Y[pGaiN: .Wb), 固定周期的2D参数优化
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yCQpqh 2D参数优化–设计1
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m6JIq}CMb 45_zO# 2D参数优化–设计2
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PAqziq. M.t5,NJ 制造
公差分析–设计2
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MEo+S wCkkfTO 变化光栅周期的3D参数优化
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C~:aol i; _tYt<oB~% 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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F-2HE><+ 8;+t.{ VirtualLab Fusion中的工作流程
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P 0,]Ud v6iV#yz3( •构造光栅
结构 0;V2>! −
通过使用界面来配置光栅结构 G*Qk9bk9 [用例]
{KODwP'~ •分析光栅衍射效率
II),m8G −
光栅级次分析器[用例]
?2Bp^3ytJ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
}Z2Y>raA\ •通过参数优化找到最终设计
gpO@xk$ KJSN)yn\ VirtualLab Fusion技术
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