摘要
i~ zL,/O8 3&x_%R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8rrC= . +.Y`0 建模任务
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hd* 光栅特性与参数的严格分析
1wGd5>GDA w;>]L.n 不同光栅周期下的衍射效率
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<t]i'D(K o?/N4$&5l 关于光栅周期选择的考虑
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ke)3*.Y%C 3#0nus|=S 偏振相关的衍射特性
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]'2p"A0U IxgnZX4N 通过参数优化进行光栅设计
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N(&3Ull UI>-5,X 固定周期的2D参数优化
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v |QFUa` 2D参数优化–设计1
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v_)cp9d] Oh<Z0M) 2D参数优化–设计2
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oBKZ$&_h EUUj-.dEN 制造
公差分析–设计2
8>Ervi` M8S4D&vpD4
P,D >gxl IO]Oo3 变化光栅周期的3D参数优化
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p~Dm3^Y B:+}^= 制造公差分析
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O&d(FJZ D1#E&4 走进
VirtualLab Fusion
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v+G}n\F .B#Lt,m VirtualLab Fusion中的工作流程
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pPG!{:YT ;$[o7Qm5r •构造光栅
结构 :Q$3P+6 a −
通过使用界面来配置光栅结构 y%ER51+ [用例]
t6-c{ZX>A •分析光栅衍射效率
Q7c_;z_ −
光栅级次分析器[用例]
|[k6X=5 •使用参数运行搜索初始解决方案
Q
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参数运行文档的使用[用例]
uvD6uIW< •通过参数优化找到最终设计
B;W=61d Z4hP VirtualLab Fusion技术
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