摘要
I`lH6hHp "d* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
!aoO,P#j !}m8]&
9uo\&,, 3p#^#1/_ 建模任务
iKO~#9OF ,FPgs0rrS
BNLall 光栅特性与参数的严格分析
TQfY%GKg( Ho9*y3] 不同光栅周期下的衍射效率
"lMWSCas
}trMQ
cZi&L p VJPP HJ[- 关于光栅周期选择的考虑
t*$@QO v8=MO:>{R
}0*7bb [#V!XdQ, 偏振相关的衍射特性
*V+fRN4 W RAa1KOxZX
+<#-52br\ v7RDoO]I
A-5%_M3\G HxAa,+k
.-
o,_eg1f q\G@Nn^ 通过参数优化进行光栅设计
F U%b"gP^ fe,CY5B{ 固定周期的2D参数优化
T~d';P ' 1IH^<b
Il[WXt<S 2D参数优化–设计1
7hQl,v< 5 gnec#j
r,\(Y@I AUd}) UR 2D参数优化–设计2
o!N@W MsiSC
^8*.r+7p _;+&'=6.[ 制造
公差分析–设计2
:2+:(^l 3H2'HO
(n G \wP$"Z}j 变化光栅周期的3D参数优化
-8:@xG2 w\a#Bfcv
3Hr%G4 t `oP; 制造公差分析
_,QUH" ^ +G> N
)eV]M~K: #k6T_ki 走进
VirtualLab Fusion
0o`o'Z V=c i+6/ g
#:X:~T :8FH{sqR VirtualLab Fusion中的工作流程
nDfDpP& "@_f>3z
G5Nub9_*X Y2fs$emv •构造光栅
结构 .T2I]d −
通过使用界面来配置光栅结构 5Dd;?T> [用例]
MH-,+-Eq •分析光栅衍射效率
s5 BV8 M −
光栅级次分析器[用例]
>jIc/yEYKI •使用参数运行搜索初始解决方案
NUseYU`` −
参数运行文档的使用[用例]
`CB TZG09 •通过参数优化找到最终设计
qp8;=Nfa GbhaibkO VirtualLab Fusion技术
78kk"9h' aE}u5L$#
}_S]!AWz