摘要
nR%ey" y~ 2C2'7 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
L
i g7Ac, E5;6ks) z6'Cz}%EP' 6DkFI kS 建模任务
8Cx6Me>,= @n|Mr/PAj ZYS`M?Au 光栅特性与参数的严格分析
7Gh+EJJ3I ^Uq%-a 不同光栅周期下的衍射效率
MiK
-W '@0Z#A k2 _i;v }yzCq+ 关于光栅周期选择的考虑
^5'pJ/BV @GVONluyU` :?!b\LJ2^ ']bw37_U, 偏振相关的衍射特性
kuq&8f~! @1w[~QlV A4~-{.w= aRV.;S G-6k[-@-v }AW"2<@ !jQj1QZR` OH
>#f6`[ 通过参数优化进行光栅设计
5FJ(x:k?z fEo5j`} 固定周期的2D参数优化
0:iR=S wPE\?en 79*f <Gr 2D参数优化–设计1
Hk8lHja+\ c
8t h}y]Pt? c4f3Dr'xw 2D参数优化–设计2
%f?Z/Wn 7gc?7TM 0f5c#/7C9 !AXt6z cZ 制造
公差分析–设计2
wS7nTZfw Cu t7 >~;=
j~ :Ahw{z`H# 变化光栅周期的3D参数优化
OWys`2W ( 5 BZZ $L4h'(s j.ZXLe~ 制造公差分析
cx~XG 4%$#
L,O.XR /UqIkc 走进
VirtualLab Fusion
I=pFGU 50CjH"3PZ` qKD
Nw8> ri/CLq^D VirtualLab Fusion中的工作流程
7'!DK;=TD6 _:\zbn0\ $DlO<
msVi3`q~ •构造光栅
结构 C"QB`f: −
通过使用界面来配置光栅结构 iv
~<me0F [用例]
"-Yj~ •分析光栅衍射效率
/E-sg,
k −
光栅级次分析器[用例]
?J@P0(M# •使用参数运行搜索初始解决方案
.(7m[-iF! −
参数运行文档的使用[用例]
C jGQ •通过参数优化找到最终设计
(DkfLadB 90 >V he VirtualLab Fusion技术
mpNS}n6 *zwo="WA\t W1&"dT@