摘要
$o^N_`l pXf5/u8& 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
|3=tF"h SOeRQb' Q#}c5TjVr 9`G}GU]@} 建模任务
1G
63eH)! 85#+_}# >:P-3#e* 光栅特性与参数的严格分析
3`{[T17 m-R`( 不同光栅周期下的衍射效率
`.YMbj#T 4n/CSAT1 XT\Q"=FD ^vc#)tm5p 关于光栅周期选择的考虑
GL3olKnL l%v2O'h nACKSsWqI `:5W1D( 偏振相关的衍射特性
&u0on)E kRB2J3Nt. MXynv";<H 89[OaT_hs MJG)fFl]O WGI4DzKa q[TW wsAijHjJI! 通过参数优化进行光栅设计
Kr74|W= v:u=.by99 固定周期的2D参数优化
JV;-P=o1B e*pYlm pF'M 2D参数优化–设计1
YHI@Cj o'!WW !f*t9 I9Q i`EG80\[Z 2D参数优化–设计2
(kZ2D j4!oBSp eC*-/$D zM++Z* 制造
公差分析–设计2
}XIUz| lwp(Pq QHbjZJ
N SD=9fh0l 变化光栅周期的3D参数优化
+BkmI\ o 9{~F`{p \,yX3R3}.~ !&@!:=X, 制造公差分析
VVm8bl.q _.K<#S E~'QC ;8>
TD&]{ 走进
VirtualLab Fusion
[E4#|w a29rD$ &l2C-( ?;?$\b= VirtualLab Fusion中的工作流程
6@cT;=W;xj fv?vfI+m KImazS^ f)%8*B •构造光栅
结构 pTIE.:g( −
通过使用界面来配置光栅结构 %TA@-tK= [用例]
%Astfn(U{4 •分析光栅衍射效率
;_?RPWZ;MO −
光栅级次分析器[用例]
A]q"+Z] •使用参数运行搜索初始解决方案
R,KoymXP −
参数运行文档的使用[用例]
OAd}#R\U •通过参数优化找到最终设计
:/941?%M <ZgbmRY8 VirtualLab Fusion技术
DW.vu%j^[ G$!JJ.
)d ^Yu%JCN8g