摘要
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当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
~hA;ji|I 5adB5)` iuq%Q\0@w 2!bE| 建模任务
[Hp"a^~r| h|=&a0 {5:V
hW} 光栅特性与参数的严格分析
<~qhy{hRn t3$+;K( 不同光栅周期下的衍射效率
p>]2o\[" aib)ItNb QVrMrm+vRv ze%)fZI0f 关于光栅周期选择的考虑
J$<g"z3 3UX} )mW s*pgR=dZZ S)\%.~ n 偏振相关的衍射特性
$lrq*Nf9c }h)[>I( ]hkway Aa/lKiiz R'r^v |LDo<pE*V4 BK:S: S}*%l)vfR 通过参数优化进行光栅设计
KuO5` PUViTb 固定周期的2D参数优化
`5Qo*qx (yel 8.Ty
,7Z 2D参数优化–设计1
]jS+ItL@ 3l@={Ts AiO29< C[O \aW 2D参数优化–设计2
.sDVBT'% J5Tl62} e$^ O_e "8"7AoE 制造
公差分析–设计2
z_J"Qk obE_`u l# 8V(#S:G35 }0Q6iHX@ 变化光栅周期的3D参数优化
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i.Qy0 cwxO|
.m 制造公差分析
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走进
VirtualLab Fusion
F3b[L^Km] PU^Z7T); ;Q2p~-0Q fmvv
q1G& VirtualLab Fusion中的工作流程
mYN|)QVKy fV_(P_C G~e`O,+ Oav^BhUO •构造光栅
结构 ge[+/$(1 −
通过使用界面来配置光栅结构 U&/Jh^Yy [用例]
o=2y`Eq •分析光栅衍射效率
xS,#TU;)Ol −
光栅级次分析器[用例]
vpUS(ztvs •使用参数运行搜索初始解决方案
F[c;iM(^ −
参数运行文档的使用[用例]
h2u>CXD •通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术
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