摘要
G4*&9Wo YTZ :D/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
|h6!b t!= 1fMV$T==K EyVu-4L:# 0)g]pG8&ro 建模任务
KpLaQb 3@\/5I xn -,+C*|mu 光栅特性与参数的严格分析
gC(S(osF d/j?.\ 不同光栅周期下的衍射效率
NfPWcK[ <mlN\BcX; {6 h 1
=v?P7;T 关于光栅周期选择的考虑
h)ZqZ'k$ +aL PN?;\k)" k(^TXUK\o 偏振相关的衍射特性
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/G+pm *cCx]C.~ %q3`k#?< 6`Y:f[VB zJW2F_ .U=x2txb 通过参数优化进行光栅设计
PNo:[9`S;m bAH<h
固定周期的2D参数优化
0C%IdV%CU Jh=.}FXnjL y3b"'-% 2D参数优化–设计1
*(1<J2j 1!G}*38; og35Vs0 [pEb`s 2D参数优化–设计2
{g1"{ G!sfp}qW
anpKWa ^
'|y^t 制造
公差分析–设计2
]58~b%s Vf~-v$YI "Zhh>cz ?M&@# lbG 变化光栅周期的3D参数优化
],0I`!\ 68h1Wjg:"! fXWE4^jU n.8870.BW 制造公差分析
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syg{qtBz^ 走进
VirtualLab Fusion
O&aD]~| N}%AUm/L K) 8%u|[Si; VirtualLab Fusion中的工作流程
/{hT3ncb Xw'sh#i2 R[l`# I W[DoQ @q •构造光栅
结构 F*#!hWtb −
通过使用界面来配置光栅结构 %vy,A* [用例]
@OT$* Qh •分析光栅衍射效率
eq%cRd]u −
光栅级次分析器[用例]
7Ko*`-p •使用参数运行搜索初始解决方案
qGV(p}$O −
参数运行文档的使用[用例]
'@+q_v@Jl •通过参数优化找到最终设计
U4-RI]Cpf KG(FA VirtualLab Fusion技术
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