摘要
0FOf *Lz ]`prDw' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
IoA;q) @2gMtf?< .IXwa, d
eg>m?Y 建模任务
b nGA.b 8=~>B@' 4B`Rz1QBy 光栅特性与参数的严格分析
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={^#E? 不同光栅周期下的衍射效率
^|C|=q~: 7,TWCVap G$ FBx fR%8?6 关于光栅周期选择的考虑
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6p :!$z1u8R !U_L7 ^v-'=1ub? 偏振相关的衍射特性
YkX=n{^ iC]lO iC-ABOOu{l =]e^8;e9 fXe-U=' gf?^yP ;V 5H+k_U .h,xBT`}Ji 通过参数优化进行光栅设计
Wi^rnr'Ss s~
A8/YoU} 固定周期的2D参数优化
?LI9F7n yU,xcq~l :N*T2mP 2D参数优化–设计1
c^s> yipD5,TC S:/RYT" Y)}%SP>, 2D参数优化–设计2
f)Q]{ cb6 CDnz
&? -P>=WZu T+R I8.#o 制造
公差分析–设计2
% VpBB <C;>$kX ?4e6w l-}5@D[ 变化光栅周期的3D参数优化
mwH!:f 1Uk~m yB%)D0 xc.D!Iav 制造公差分析
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y3 h6y4Ii _`i%9Ad.4 走进
VirtualLab Fusion
ApYud?0b '<< ~wt 3n(gfQo-o Xj~EVD VirtualLab Fusion中的工作流程
,, %:vK+V V9u\;5oL M5WtGIV W#I:j: p •构造光栅
结构 V}fKV6 v9 −
通过使用界面来配置光栅结构 nDB 2>J [用例]
NLZZMr •分析光栅衍射效率
_iJXp0g −
光栅级次分析器[用例]
ds;cfj[ •使用参数运行搜索初始解决方案
8<g#$(a_E −
参数运行文档的使用[用例]
Kt,ynA •通过参数优化找到最终设计
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#t<4D VirtualLab Fusion技术
aq+IC@O 4bev*[k %m{.l4/!O