摘要
}~h(w^t B8%{}[q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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V{&rQ@{W Cssl{B 建模任务
dVo.Czyd U*P. :BvG
dG71*)<)t 光栅特性与参数的严格分析
FwZ>{~?3 [kgdv6E 不同光栅周期下的衍射效率
dk<XzO~g Z@%HvB7
W$Yc'E
; 3#45m+D 关于光栅周期选择的考虑
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{Pu\?Cq T!}[yW 偏振相关的衍射特性
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H<G4O02i_ (x$9~;<S*d
`3'0I /d"z Iu35#j 通过参数优化进行光栅设计
$eBX s{4 \xAS> 固定周期的2D参数优化
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LR,7,DH$9' 2D参数优化–设计1
EIf~dOgH hwDbs[:
F("#^$ @&hnL9D8lL 2D参数优化–设计2
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}Y17*zp% TV}}dw 制造
公差分析–设计2
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?n\*,{9 y9|K|xO[ 变化光栅周期的3D参数优化
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[;b=A 47T}0q, 制造公差分析
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^ 2u/n 2_t=P|Uo 走进
VirtualLab Fusion
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ehAu^^Q> H_IGFZ Ch VirtualLab Fusion中的工作流程
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mEuHl> Yp4c'Zk •构造光栅
结构 5H:@8,B −
通过使用界面来配置光栅结构 7>
Pgc [用例]
; W7Y2Md •分析光栅衍射效率
Y+/lX 6' −
光栅级次分析器[用例]
)J3kxmlzQ •使用参数运行搜索初始解决方案
?&l)W~S −
参数运行文档的使用[用例]
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qJI'+_ •通过参数优化找到最终设计
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| em]xtya VirtualLab Fusion技术
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