摘要
tqYwP Sr Ho!dtEs 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
^hy Y,X ]f}#&]<(T :*<UCn"" 552yzn1 建模任务
:=cZ,?PQp1 bsos va+ OA ?pBA 光栅特性与参数的严格分析
bw[s<z|LKA 0; PV gO;9 不同光栅周期下的衍射效率
9*b(\Z)N a`t <R -:]-g:;/ YEiQ`sYKG 关于光栅周期选择的考虑
d) i64" +#@)C?G,TF ?ypX``3#s7 E(p*B8d 偏振相关的衍射特性
_Yqog/sG ^$VH~i & =bgu2#%Z UZD Xv=r| %xuJQuCqf UD 6:X&Un l.3|0lopX) ):5M + 通过参数优化进行光栅设计
r&0IhE u301xc,N<z 固定周期的2D参数优化
kS)azV KP*cb6v A 41oXOB 2D参数优化–设计1
;GF+0~5> F15Yn zxhE9 [`*e gAxf5 A_x) 2D参数优化–设计2
8Ts_;uId s-lNpOi *^=z Q~ Z6\H4,k& 制造
公差分析–设计2
_7=LSf,9 hwj:$m R .d?2Kc)SV\ 57~/QEdy 变化光栅周期的3D参数优化
gi #g)9HG DYej<T'?3 `"RT(` m mLb>*xt$b@ 制造公差分析
U_.9H
_G FA7q
pc 6(=>!+xpRr hg Pzx@ 走进
VirtualLab Fusion
`-)Hot) v iXt]0 W^8Ms dM !L?diR VirtualLab Fusion中的工作流程
(Ee 5Af,4 7%)KB4(\_ a]4h5kJ'; hcX` X2^ •构造光栅
结构 B$D7} =|kc −
通过使用界面来配置光栅结构 0T7c =5z4W [用例]
.d;|iwl
•分析光栅衍射效率
NDYm7X*et −
光栅级次分析器[用例]
ic=tVs •使用参数运行搜索初始解决方案
r jWn>M −
参数运行文档的使用[用例]
/c|X:F!;X# •通过参数优化找到最终设计
~/m=Q<cV 8kYI ~ VirtualLab Fusion技术
O;8 3A ApSzkPv* zkb[u"
