摘要
#Wk5E2t 7@3sUA_Go 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
y;QQ| =, \447]<u U=DEV7 E I)lC{v 建模任务
OpUA{P T%~SM5 GFt1 光栅特性与参数的严格分析
|6*Va%LYO- @,e8t BL 不同光栅周期下的衍射效率
tah}^ vpV$$=Qwp ?;RD u[eD =f `=@] 关于光栅周期选择的考虑
N iISJWk6' $Elkhe]O % gwq`_/d} URQ@=W7 偏振相关的衍射特性
3HKxYvc C C=[Ae, {2EMz|&8 t)'dF*L ^/<|f,2 sUV>@UMnu LuL$v+` Ro~fvL~Ps 通过参数优化进行光栅设计
y@aKNWy}$ v#F-<?Vv 固定周期的2D参数优化
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{<HU?BT BfVBywty 2D参数优化–设计1
;j!UY.i bBG/gQ M}KZG'7 1!1DuQ 2D参数优化–设计2
+`Fb_m)f tvT4S 4|=vxJ b}}y=zO|$ 制造
公差分析–设计2
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:$2Yg[Zc3 s-%J5_d f 7*MU2gb 变化光栅周期的3D参数优化
vzcz<i ) Uuz?8/w}# Q.1XP MX?}?"y 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
lz}llLb1 gwJ}]Tf \imp7}N *_#&"(P VirtualLab Fusion中的工作流程
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-[Y:?lA bOe<\Y$ |,{+;: •构造光栅
结构 T\fudmj& −
通过使用界面来配置光栅结构 P8IRH#ED [用例]
7PA=)a\ •分析光栅衍射效率
L&QtHSzy −
光栅级次分析器[用例]
"vsjen.K> •使用参数运行搜索初始解决方案
H>Ks6V)RL4 −
参数运行文档的使用[用例]
j3LNnZY •通过参数优化找到最终设计
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K( VirtualLab Fusion技术
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