摘要
wVvqw/j*f !"`@sd~ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
QD.zU/F~> []A"]p /-!&k cX|[WT0[I 建模任务
6?1s`{yy J{Y6fHFi 1a($8> 光栅特性与参数的严格分析
V-D}U$fw QvG56:M3 不同光栅周期下的衍射效率
3bbp>7V! NCowt|#t 3W7;f! "*Lj8C3|n 关于光栅周期选择的考虑
*3A3>Rwu Fb<n0[m Lv
`#zgo_f ]}mly`Fw 偏振相关的衍射特性
'GEBxNH: xoqiRtlY: (v|r'B9b {l&Ltruhz 5kGxhD B#HV20\?v k1ipvKxp:8 XIr{U5$<6 通过参数优化进行光栅设计
nc3sty1` |ZvNH ~! 固定周期的2D参数优化
1a7!4)\ mgi,b2 iBG`43; 2D参数优化–设计1
5h_<R!jA $7Jfb<y |HrM_h<X a$w},=
`E 2D参数优化–设计2
)>(L{y|uYX kP7a:(P_g +68+PhHF UppBnw 制造
公差分析–设计2
v#RW{kI V -q%r 1*Sr5N[= {SF[I 变化光栅周期的3D参数优化
m_c O<LB lkV6qIj w+q?T , p_G/OU
制造公差分析
./#e1m?. ~_'0]P\ -u6}T! i\(\MzW*' 走进
VirtualLab Fusion
J#0GlK@" u FMIY(vB *Wzwbwg
]\OWZ{T'j VirtualLab Fusion中的工作流程
b& V`<'{ 3AK(dC[ri U);OR CE{z-_{^ •构造光栅
结构 ?8Et[tFg −
通过使用界面来配置光栅结构 pFpZbU^ [用例]
Am=wEu[b •分析光栅衍射效率
x Y| yI> −
光栅级次分析器[用例]
_WKJ<dB< •使用参数运行搜索初始解决方案
B]1HS`*7 −
参数运行文档的使用[用例]
C*7!dW6 •通过参数优化找到最终设计
p"KU7-BfvC $'^&\U~? VirtualLab Fusion技术
kGm:VYf% qtHfz"p opdu=i=E