摘要
;W].j%]Le ,b4&$W]. 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
d1-p];& Q?@G>uz 5*AKl< Jl <G>PPf} 建模任务
*v+ fkg }>w4! \K6J{;# L 光栅特性与参数的严格分析
S\A[Z&k0
wu')Q/v 不同光栅周期下的衍射效率
2"O Y]d @-}]~|< yKJ^hv"# wk#QQDV3|0 关于光栅周期选择的考虑
u W T[6R GLyh1qNX qZh~Ay6I KfNXX>' 偏振相关的衍射特性
]@YQi<d2^ gL`SZr9 ;"Y6&YP< ,)1e+EnV& %a `dOEO w3>|mDA}I N3p3"4_]fy B5G$o{WM 通过参数优化进行光栅设计
P{18crC[1 / 5Loj&!= 固定周期的2D参数优化
Hw{Y.@)4R D,a%Je-r, Z&,}Fgl!F 2D参数优化–设计1
=*jcO119L -e>)yM `i s`RJl V }c%y0)fL 2D参数优化–设计2
aehMLl9cl ".f:R9- 3G^Ed)JvE t;Om9 制造
公差分析–设计2
n~j[Pw q;.]e#wvh K8Zk{on 6^;!9$G|D* 变化光栅周期的3D参数优化
+`-a*U94 avu,o ->=++ ,np`:fBMy 制造公差分析
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+;;%Atgn ~b0qrjF;O S8m&Rj3O& 走进
VirtualLab Fusion
KTt$Pt/. z D<9A6AB Q%Q?q)x &Q>'U6"% VirtualLab Fusion中的工作流程
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N rJp6d :M
2j1v.% ]xEE7H]\h •构造光栅
结构 F*VMS −
通过使用界面来配置光栅结构 ZGhoV#T@ [用例]
4&hqeY3 •分析光栅衍射效率
^]&{"! −
光栅级次分析器[用例]
[[h)4H{T •使用参数运行搜索初始解决方案
-i5g 8t' −
参数运行文档的使用[用例]
vqMk)htIz •通过参数优化找到最终设计
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U^BXCu1km VirtualLab Fusion技术
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