摘要
y:U'3G- LQ,RQ~! 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
z7[TgL7 4G:I VK9 bv.DW,l%' HF9\SVR
B 建模任务
hSxlj7Eo^T dmq<vVxC ? m$uqi 光栅特性与参数的严格分析
[m9Pt]j@
xvZNshkpAX 不同光栅周期下的衍射效率
Cm~h\+" h'i8o>7 \hjGw,d .Z,3:3,] 关于光栅周期选择的考虑
?[$=5? /jR]sC)xs ,BK6a'1J |4UU`J9M 偏振相关的衍射特性
%+WIv+< -mSiZ rAc
Yt9M# _eB?G L{v^: OH.Re6Rr h)%}O.ueB fI{ZElPp 通过参数优化进行光栅设计
pUvbIbg+ `w_?9^7mH 固定周期的2D参数优化
h[5<S& S(7_\8h Hx}K
wS 2D参数优化–设计1
Km~\^(a ' *wNX<R. 'Ii%/ Ob! 5lp
L$ 2D参数优化–设计2
5rAI[r
9 VS$ZR'OP0 /h4 ::, d^"dL" Q6m 制造
公差分析–设计2
8\-Q(9q( m6%csh-N1 +/ A`\9QT *>Z|!{bI 变化光栅周期的3D参数优化
V\ud4 @PXb^x#k KRS_6G],{ a:C'N4K 制造公差分析
$#4J^(I*: f%LzWXA u-W6 hZ$ >Z#=< 走进
VirtualLab Fusion
,2F4S5F~rC njk.$]M|nf KtWG2 } z4=3' VirtualLab Fusion中的工作流程
!Jo3>!,j y(pHt c65_E<5Z lVywc:X •构造光栅
结构 2 }QD> −
通过使用界面来配置光栅结构 2#4_/5(j* [用例]
o0- 7# 2 •分析光栅衍射效率
8ALvP}H −
光栅级次分析器[用例]
xF)AuGdp\ •使用参数运行搜索初始解决方案
kl.)A-6V −
参数运行文档的使用[用例]
m`<Mzk.u< •通过参数优化找到最终设计
)!1; = eSZS`(#!( VirtualLab Fusion技术
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