摘要
:*1Gs, h^$>{0" 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
?M7nbfy[A@ VVJhQ bP 71Ssk|L <P( K,L?r 建模任务
Xt'R@"H<V9 6.~(oepu KbH#g>.oB 光栅特性与参数的严格分析
b0E(tPw5c ~@z5Ld3xz 不同光栅周期下的衍射效率
p&_a kQj S'Q$N-Dy Ih`n:aA YjS|Ht-> 关于光栅周期选择的考虑
s.KJYP wH!]B-hn h|%d=`P, e\.|d<N? 偏振相关的衍射特性
|82V`CV *ARro
Ndr d"5:/Mo 4ej$)AdW3 xzMa[D4( 'y}A3RqN TDY}oGmNn e7/J:n$ 通过参数优化进行光栅设计
C-_u; NEu 7=T0Sa*; 固定周期的2D参数优化
J~<:yBup} GFlsI-*` fXIeCn 2D参数优化–设计1
IQScsqM pq-zy6^ 0+r/>-3] 5yxZ
5Ni! 2D参数优化–设计2
1
EC0wX &.7\{q\( $z@e19g T )OH!<jW 制造
公差分析–设计2
G!OD7: q97Dn[>3 p//">l=Ps o?p) V^7 变化光栅周期的3D参数优化
\|j`jsq C)#:zv m ,{8~TVO {%S1x{U}W- 制造公差分析
[(ty{ g-}Vu1w0{6 pBL{DgX NZeI qhj 走进
VirtualLab Fusion
4G_dnf_ rM bb%d: '`[nt25N mvUYp,JECl VirtualLab Fusion中的工作流程
&g)
` L<8y5B~W m>NRIEA6 ~01rc •构造光栅
结构 ,~G _3Oz −
通过使用界面来配置光栅结构 fRrHWE+ [用例]
{b/AOR
o •分析光栅衍射效率
5QSd$J −
光栅级次分析器[用例]
U}Xc@- \ ? •使用参数运行搜索初始解决方案
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V"v"7E −
参数运行文档的使用[用例]
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oo •通过参数优化找到最终设计
Qr0JJoHT sUbZVPDr VirtualLab Fusion技术
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