[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 u!VY6y7p  
ZGWZ2>k
  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +QFY.>KH  
h|&qWv  

图片:1-20021G15353423.png

_;5N@2?  
r)t-_p37  
建模任务 [U?a %$G>  
'4d+!%2t  

图片:1-20021G15419564.png

&l1CE19<  
光栅特性与参数的严格分析 ,1-#Z"~c  
r*s)T`T}}  
不同光栅周期下的衍射效率 DC%H(2  
2JRX ;s~  

图片:1-20021G15602G5.png

n<>/X_m  
Q"an6ht|  
关于光栅周期选择的考虑 ~f>km|Q{u  
H;eOrX{GT  

图片:1-20021G15641J8.png

@8GW?R  
MDKiwT@#  
偏振相关的衍射特性 k7Z1Y!n7  
j*)K> \  

图片:1-20021G15G0159.png

q'awV5y  
|G]M"3^  

图片:1-20021G15I2201.png

e!~x-P5M`  

rN^P//  

图片:1-20021G15P2594.png

u~a@:D/F{G  
   UKxeN[fv  
通过参数优化进行光栅设计 JdeGQ  
s\dF7/b  
固定周期的2D参数优化 c 7uryL  
Syj7K*,%bZ  

图片:1-20021G15RaL.png

Enj],I  
2D参数优化–设计1 /?P="j#u  
x,SzZ)l-9  

图片:1-20021G15Z4258.png

HNtl>H  
S7 Tem:/  
2D参数优化–设计2 D#,P-0+%  
w_!]_6%{b  

图片:1-20021G20004394.png

v(tr:[V  
Pa!r*(M)C  
制造公差分析–设计2 6+[7UH~pm^  
9>"To  

图片:1-20021G2002JX.png

KzC`*U[  
mT2Fn8yC1  
变化光栅周期的3D参数优化 UF00K1dbz  
Eo }mSd  

图片:1-20021G20100c0.png

z2lEHa?w  
UE9r1g`z  
制造公差分析 &ii3Vlyzg  
yXx}'=&!0  

图片:1-20021G20120954.png

isP4*g&%x  
)0:@
T)G  
走进VirtualLab Fusion n3kYVAgF  
wz P")}[0  

图片:1-20021G20141219.png

A"@C }f  
|H4/a;]~  
VirtualLab Fusion中的工作流程 w<]Wg^dyQ  
b}[W[J}`  

图片:1-20021G20205237.png

-l!;PV S|  
z;_d?S<*m  
•构造光栅结构 *?`:=  
−通过使用界面来配置光栅结构 X>#!s Lt  
[用例] P:")Qb2  
•分析光栅衍射效率 Uv06f+P(  
−光栅级次分析器[用例] +FoR;v)z=F  
•使用参数运行搜索初始解决方案 J8"Cw<=O  
−参数运行文档的使用[用例] AdtAc$@xK  
•通过参数优化找到最终设计 h.6yI  
m"!!)
 
VirtualLab Fusion技术 ;ml;{<jI  
K6.
*)7$#  

图片:1-20021G2025W62.png

   '%>$\Lv