[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 Z> r^SWL  
Qca&E`~Q  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6&/T@LQYrh  
4rrSb*
  

图片:1-20021G15353423.png

'}$Dgp6e  
4^URX>nx8  
建模任务 r\/+Oa'  
50={%R  

图片:1-20021G15419564.png

%plo=RF  
光栅特性与参数的严格分析 F;]%V%F.X  
{D=@n4JO  
不同光栅周期下的衍射效率 I(XOE$3  
A
F%@VLf  

图片:1-20021G15602G5.png

tPF.r  
N ,z6y5Lu  
关于光栅周期选择的考虑  #B\"'8#  
_]:z \TDn  

图片:1-20021G15641J8.png

ghRVso(  
)6aAB|  
偏振相关的衍射特性 BT(CM,bp  
R2 V4#  

图片:1-20021G15G0159.png

D gaMO,  
cCxBzkH6  

图片:1-20021G15I2201.png

87YyDWTn  
Bs?^2T~%{  

图片:1-20021G15P2594.png

}I>tO9M  
   Ywwu0.H<  
通过参数优化进行光栅设计 L+i(TM=  
>:b Q  
固定周期的2D参数优化 y~\oTJb  
LSRk7'0  

图片:1-20021G15RaL.png

3p'I5,}  
2D参数优化–设计1 5^x1cUB]  
Ct>GYk$  

图片:1-20021G15Z4258.png

1Yn +<I  
<.? jc%  
2D参数优化–设计2 _D+J!f^  
;&)-;l7M  

图片:1-20021G20004394.png

FIsyiSY<j  
Ll4g[8  
制造公差分析–设计2 aYSCw3C<  
Dbz3;t  

图片:1-20021G2002JX.png

KGFv"u{  
.P"D  
变化光栅周期的3D参数优化 55fC~J<  
gp\<p-}  

图片:1-20021G20100c0.png

_BP&n  
#n8IZ3+
  
制造公差分析 RtM8yar+sn  
;67x0)kn  

图片:1-20021G20120954.png

V]db'qB\  
9'X7w
G  
走进VirtualLab Fusion FFEfI4&SfS  
k5kxQhPf  

图片:1-20021G20141219.png

XY3v_5~/1F  
lp^<3o*1  
VirtualLab Fusion中的工作流程 mUikA9u5=  
V: TM]  

图片:1-20021G20205237.png

0a XPPnuX  
I<6P;  
•构造光栅结构 "[ZB+-|[0  
−通过使用界面来配置光栅结构 pz.JWCU1  
[用例] ~XmLX)vO/  
•分析光栅衍射效率 m3/O.DY%0  
−光栅级次分析器[用例] 5lUF7:A>#  
•使用参数运行搜索初始解决方案 m0a?LY  
−参数运行文档的使用[用例]  x5-}h*  
•通过参数优化找到最终设计 v: OR   
.E8_Oz  
VirtualLab Fusion技术 kZGRxp9  
0i\M,TNf*  

图片:1-20021G2025W62.png

   )x=1]T>v"'