摘要
v$N|"o"" rfq;%C 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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35 3"P }n 建模任务
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U{VCZ*0cj 光栅特性与参数的严格分析
A*um{E+ qkC/\![@ 不同光栅周期下的衍射效率
,dx3zBI Ovj^IjG-`
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V<j.xd7 关于光栅周期选择的考虑
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PP!SK2u"L l~M_S<4n 偏振相关的衍射特性
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qv@$ZLR rp0ZvEX
TsGE cxIg z-b*D}& 通过参数优化进行光栅设计
qcN'e.A c.j$9=XLBG 固定周期的2D参数优化
'CN|'W)g7 ;W^o@*i{>
DrO2 y 2D参数优化–设计1
+mp@b942* IqD_GL)Ms
QV&D l_ 9J?wO9rI 2D参数优化–设计2
X3V'Cy/sy 6C+"`(u%V
:Cp'm'omb ?'<nx{!c 制造
公差分析–设计2
kJ Mf -]t,E,(!
qIAoA. !H}vu]R 变化光栅周期的3D参数优化
R@`y>X GNJ <Ce2r"U1e
7IjQi=#: 9s_,crq5 制造公差分析
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XGkkB T"0,r$3: 走进
VirtualLab Fusion
j<)9dEM' |e2be1LD
57g</p H[='~%D VirtualLab Fusion中的工作流程
.k0~Vh2u eR3$i)5
6A=8+R'`F |USX[jm\ •构造光栅
结构 HVC>9_:] −
通过使用界面来配置光栅结构 (1NA [用例]
Vl2XDkhq •分析光栅衍射效率
\R3H+W −
光栅级次分析器[用例]
Co3:*nbRv •使用参数运行搜索初始解决方案
@`,1: −
参数运行文档的使用[用例]
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"VY%S^ •通过参数优化找到最终设计
S*,rGCt'T al[n,u VirtualLab Fusion技术
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