摘要
cP >MsUZWl @fDWp/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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NO9s
#bFJ6;g=V O'5xPJ 建模任务
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FlWgTn> 光栅特性与参数的严格分析
RbexsBq + -[M 7J 不同光栅周期下的衍射效率
:n1^Xw0q \ C^fi}/]
F*&A=@/3 /h/f&3'h 关于光栅周期选择的考虑
3['aK|qk. -2)6QKh~D
eB]cPo4gW L|O'X4"&_ 偏振相关的衍射特性
(A\X+S( ;0)|c}n+.5
O$'BJKj-4 Zd2B4~V
RyI(6TZl X\?PnD`,
?Cg",k ' jm|x=s3}h 通过参数优化进行光栅设计
b^SQCX+P
@P1#) 固定周期的2D参数优化
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[M:ag_rm+f 2D参数优化–设计1
m)5,ut/ {8'f>YP
3LxhQVx2 X/=*o;": 2D参数优化–设计2
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Y2=lT
{F Ir|R& K>!+5A$6i 制造
公差分析–设计2
F&ud|X=m 0^5*@vt
K?M{=$N j|Q*L<J
变化光栅周期的3D参数优化
[Pn(d[$z /7s^OkQ
[,s{/32s /|
nZ)? 制造公差分析
MLu@|Xgh GFq,Ca~
q_5hKipd\b mz|#K7: 走进
VirtualLab Fusion
+3;`4bW ,KT[ }P7
D*!UB5<>/t *%[L
@WF VirtualLab Fusion中的工作流程
s)gU vS\ G*oqhep
%K9 9_Cl3 <)D)j[ •构造光栅
结构 hI+mx −
通过使用界面来配置光栅结构 'Gr}<B$A3 [用例]
[iT*L)R4 •分析光栅衍射效率
xsPY# −
光栅级次分析器[用例]
BZ '63 •使用参数运行搜索初始解决方案
kYwV0xQ −
参数运行文档的使用[用例]
~>j5z&:& •通过参数优化找到最终设计
iSiez' l\Q-- VirtualLab Fusion技术
<Mt>v2a3Y !=-{$& {
C(4r>TNm