摘要
cJ]`/YJ `<HY$PAe 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5F^,7A4I0 2yq.<Wz< 建模任务
4
CX*,7LZ XF^c(*5
7azxqa5: 光栅特性与参数的严格分析
L8bq3Q'p z@~1e]% 不同光栅周期下的衍射效率
KN}[N+V> ;i:Uoyi
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7 Fz&bN 9%zR?u 关于光栅周期选择的考虑
P]y2W#Rs Q7=J[,V: 2
i;|%hDNWA ! \awT 偏振相关的衍射特性
k[v n: #Q'i/|g
~PlwPvWo lq.0?(
}ZYK3F E\V>3rse
Jr''S}@|x 6_XX[.% 通过参数优化进行光栅设计
zLxWyPM0; W_sDF; JP 固定周期的2D参数优化
+IS$Un VwC,+B
8L=QfKr 2D参数优化–设计1
yaX,s4p =<e# 2
"{V,(w8Dt ,E>VYkoA 2D参数优化–设计2
l^Lg"m2 7#g C(&\A
Fa/i./V2 P@5^`b| 制造
公差分析–设计2
3ZB;-F5v v>nJy~O]
\C<rg| xxV{1, H2 变化光栅周期的3D参数优化
D 'u+3 a:;*"p[R
iww h,( +Nza@B d 制造公差分析
rg'? ?rq r{<u\>6X>P
hh8UKEM- p}Gk|Kjlq, 走进
VirtualLab Fusion
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a"EQldm|d uY;/3?k& VirtualLab Fusion中的工作流程
C8t+-p qC6Q5F
=x^I 5Pn !t_,x= •构造光栅
结构 O]PfQ −
通过使用界面来配置光栅结构 n!N;WL3k [用例]
UfkRY<H •分析光栅衍射效率
jOuv\$ −
光栅级次分析器[用例]
ivagS\Q •使用参数运行搜索初始解决方案
@O3w4Zs −
参数运行文档的使用[用例]
pDKJLa •通过参数优化找到最终设计
E""/dC:B #mM&CscE VirtualLab Fusion技术
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