摘要
4dcm)Xr ;+(VO 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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euVDrJ^ "lLh#W1d 建模任务
Bv!{V)$ J"LLj*,0"
(RV#piM 光栅特性与参数的严格分析
q4&! mDU y<6c*e1 不同光栅周期下的衍射效率
ES AX}uF kLF`6ZXtd
5RFro^S9E , ?U)mYhI 关于光栅周期选择的考虑
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t!*[nfR .P aDR |! 偏振相关的衍射特性
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(${ #l \t&! &R# 通过参数优化进行光栅设计
n qO*z< `;+x\0@< 固定周期的2D参数优化
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/MY's&D( 2D参数优化–设计1
WoN},oT[i 6qFzo1LO
\} v@!PQl o>C,Db~L/ 2D参数优化–设计2
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<O0tg[ub el*|@#k} 制造
公差分析–设计2
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*3`R W<Z :_6o|9J\t 变化光栅周期的3D参数优化
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3 0[Xkz 9 da=q 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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v1~l=^4& 2=fM\G VirtualLab Fusion中的工作流程
DdI%TU K, f&4+-w.:V|
.O1w-,= IC'+{3.m8 •构造光栅
结构 3WF]%P%
−
通过使用界面来配置光栅结构 y,`n9[$K\ [用例]
#~nXAs]Q •分析光栅衍射效率
Ve%ua]qA −
光栅级次分析器[用例]
j!i*& •使用参数运行搜索初始解决方案
/)J]ItJlz −
参数运行文档的使用[用例]
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`9 •通过参数优化找到最终设计
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S VirtualLab Fusion技术
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