[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 bruM#T@}  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <e)5$Aj  
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设计任务 vOMmsU F  
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光栅特性与参数的严格分析 vMT:j  
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不同光栅周期的衍射效率 wX7|a/|@  
)}`3haG  

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考虑光栅周期的选择 HH`G/(a  
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偏振相关衍射特性 wl
vhDJ  
BC}+yS \  

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I"AgRa  
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偏振相关衍射特性 "j(?fVx  
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SY: gr  
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偏振相关衍射特性 tp4/c'w;)J  
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基于参数优化的光栅设计 gtizgUS7  
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具有固定周期的二维参数优化 d`M]>EDXp  
Av3qoH)[<  

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二维参数优化 - 设计＃1 H?ZlJ|/c  
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二维参数优化 - 设计＃2 qJ\tc\
  
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^g[,}t:/d  
制造公差分析 - 设计＃2 f(Hh(  
EqY e.dF,  

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IIn0w2:i  
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不同光栅周期的三维参数优化 A>SXc%K  
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制造公差分析 3M/iuu  
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VirtualLab Fusion 工作流程 ct,Iu+HJ  
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