摘要
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P.(t+ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
[[";1l oG4w8+N O;"*_Xq(` p?J~' 设计任务
xI/{)I1f d,GtH)( s { r<(t# lWu9/r 1 hLDch5J5~ 光栅特性与参数的严格分析
KdBq@ LUe>)eqw 不同光栅周期的衍射效率
1YF+(fk el2*\(XT _IQU<Za 4yJ*85e] 考虑光栅周期的选择
Q1O_CC} E<X{72fb> Lo$Z>u4(c 偏振相关衍射特性
;~'cITL vp )}/&/ cJ7{4YK_#/ 'S%} ?#J 偏振相关衍射特性
cu.*4zs jkQt'! 7dM6;`V^ /ZIJ<#o[ 偏振相关衍射特性
.NzW@| ?$)x$nS` ,w9#%=xE zAkc67: 基于参数优化的光栅设计
A}t&- U- *8%>Qp 具有固定周期的二维参数优化
"2#-xOCO oUKBb&&O ZuFVtW@ 二维参数优化 - 设计#1
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cKi^C QKUBh-QFK LEn=dU 二维参数优化 - 设计#2
P*0nT !ho5VAt 0]h8)EW OUIUgej 制造
公差分析 - 设计#2
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s>*Q 9A *?E \CJx=[3( 不同光栅周期的
三维参数优化
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