摘要
DYaOlT(rE ps@{1Rn1 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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LXx`Vk>ky \s">trXwX 设计任务
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eCXw8 b{hdEb +U*:WKdI? 光栅特性与参数的严格分析
j`ybz G^ |FxTP&8~ 不同光栅周期的衍射效率
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$qy ST |^$?9Dn9.L 考虑光栅周期的选择
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71!'k>]h 偏振相关衍射特性
d2[R{eNX= +tvWp>T+
u<K{=94!e mZ}C)&,m2 偏振相关衍射特性
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R1NwtnS f~Q]"I8w 偏振相关衍射特性
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^A' Bghy i :Sih"= 基于参数优化的光栅设计
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\2NT7^H# 具有固定周期的二维参数优化
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LGPPyKNx 二维参数优化 - 设计#1
^.~m4t`U <^Sp4J
dPCn6 (H-}z`sy/@ 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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kSr( ?Q G?F9? 不同光栅周期的
三维参数优化
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BNpc-O~ o0\d`0-el 制造公差分析
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