摘要 5&5
x[S8
_8$arjx=
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 STMc@MeZU_
2BA'Zu`
m'h`%0Tc
}K\]M@
设计任务
M1><K:
>;Er[Rywr
`9;:mR $
Ps3wg=ni[
I_"1.
光栅特性与参数的严格分析 =n_r\z
>5Vv6_CI0?
不同光栅周期的衍射效率 BLzlXhHn
`]L&2RS
Y#3<w
/Jz?~H{%n
考虑光栅周期的选择 PPiN`GM
eR,ePyA;
rwb7>]UI"d
偏振相关衍射特性 {[V<mT2/
?LU]O\p
gzS6{570
m,i@
偏振相关衍射特性 qx3@]9
}E626d}uA
=FXO 1UZ!
29R_?HBH
偏振相关衍射特性 QKW;r
pWY $aI
FsI51@V72Q
w'NL\>
基于参数优化的光栅设计 H$2<N@'4z
d>j`|(\
具有固定周期的二维参数优化 4+fWIY1
"
egur}
2H7b2%
二维参数优化 - 设计#1 rPf<8oH
|tl4I2AV
H+UA
N?]HWP^pg
二维参数优化 - 设计#2 ~(W q 5<v
kk6Af\NZ
(~6oA f
8KH|:>s=
制造公差分析 - 设计#2 |KF_h^
Fk01j;k.H
@LQe[`
[
+w=
不同光栅周期的三维参数优化 '6Lw<#It
~\;s}Fv.
9?8Yf(MC%u
E0 ~\ A;
制造公差分析 Bf
{h\>q
{G _ :#cep
J9+<9g4-t
~?l>QP|o
走进VirtualLab Fusion ?];?3X~|
*}mk$bA
=1qM`M
)YSS>V
VirtualLab Fusion 工作流程 @)"= b!q=
;JQ:S~K9
BhJag L ^o
(-'Jf#&X^
VirtualLab Fusion技术 -?T:> *]p
}@R*U0*E