摘要
lp%.n= '\ ~^5n$jq 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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W%<]_u[-} ;7=JU^@D@ 设计任务
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2bG4,M oZcwbo8 AT'$VCYC( 光栅特性与参数的严格分析
6XCX#4'i% lJ1xx }k{U 不同光栅周期的衍射效率
(<~R[sT| bFxJ|
v^I %Wm ]Sx=y< 考虑光栅周期的选择
Lj* =*V (GOrfr
)0V]G{QN 偏振相关衍射特性
34M.xB J9t? ]9.,:
yacGJz^f= ^dKaa 偏振相关衍射特性
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GoA>sK w*kFtNBfU 偏振相关衍射特性
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ewPd hCK L*oLKigT 基于参数优化的光栅设计
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Y} 具有固定周期的二维参数优化
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4$w-A-\t 二维参数优化 - 设计#1
BjJ gQ`X Jl9TMu!1]
5!{g6=( w[[@&T\` 二维参数优化 - 设计#2
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=zGz|YI*? n.>'&<H>9 制造
公差分析 - 设计#2
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{ qz SI cI 不同光栅周期的
三维参数优化
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CrQ&-!Eh +~]g&Mf6o 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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