摘要
)^G&p[G $#bgt 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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O{sb{kk RV*7?y%3 设计任务
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xc7Hr~ 光栅特性与参数的严格分析
G=[=[o\ }~Am{Er<l 不同光栅周期的衍射效率
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E7XFt#P. /uTU*Oe 考虑光栅周期的选择
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pH?tr 偏振相关衍射特性
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U%swqle4 H;QE',a9+i 偏振相关衍射特性
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1:.0^?Gz l.DC20bs 偏振相关衍射特性
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Ab]`*h\U a0vg%Z@! 基于参数优化的光栅设计
$1Lm=2;U OygR5s + 具有固定周期的二维参数优化
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RhJ{#G~:% 二维参数优化 - 设计#1
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{b|:q>Be8 =:T pH>f* 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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`@8QQB ail%#E8 不同光栅周期的
三维参数优化
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29]T:I1d[ oW:p6d 制造公差分析
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