摘要
vAcxca">S sLze/D_M* 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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k1E(SXcW9 M]7>Ar'zsG 设计任务
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B&rw R/d +rFAo00E| c-oIP~, 光栅特性与参数的严格分析
{,+MaH NbPNcjPL 不同光栅周期的衍射效率
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1"wZ [. P$#{a2 考虑光栅周期的选择
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l05'/duuJ wl /1~! 基于参数优化的光栅设计
Vrn+"2pdJ p(6KJK\ 具有固定周期的二维参数优化
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jSMxb a] 二维参数优化 - 设计#1
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u';9zk/$ J%FF@.)k 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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a4&Aw7"X k`w/ 不同光栅周期的
三维参数优化
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4;R NwyNl 制造公差分析
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