摘要 S&A, Q'
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q89#Ftkt
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光栅特性与参数的严格分析 m/)Wn
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不同光栅周期的衍射效率 $q]:m+Fm
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考虑光栅周期的选择 dF2 &{D"J
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偏振相关衍射特性 7u"t4Or
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基于参数优化的光栅设计 !7MC[z(|N
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具有固定周期的二维参数优化 #/NZ0IbHk
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二维参数优化 - 设计＃1 \$ Xo5f<
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二维参数优化 - 设计＃2 G9 92{B
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不同光栅周期的三维参数优化 gTE/g'3
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制造公差分析 $Q,Fr;
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