摘要
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光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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n ]ikc| @@EI=\ 设计任务
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_|HhT^\P q76POytV| }d$-:l,w 光栅特性与参数的严格分析
0X$mT:=9 ^?z%f_ri 不同光栅周期的衍射效率
3? {AGJ1 LiJYyp
>mGH4{H jW/WG tz 考虑光栅周期的选择
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vSzpx 偏振相关衍射特性
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%idBR7?`g >A#5` $i 偏振相关衍射特性
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#A63?kDE&& 6Z\ aJ 偏振相关衍射特性
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b UG,~\Z sEhvx+( 基于参数优化的光栅设计
9u=A:n\ T^bAO-d# 具有固定周期的二维参数优化
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*dBy<dIy 二维参数优化 - 设计#1
sqkWQ`Ur FaHOutP
>CB-a : 6F\ 6,E 二维参数优化 - 设计#2
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K.tNV{OL Mw[3711v 制造
公差分析 - 设计#2
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jP@ @<dt + NlnK6T/ 不同光栅周期的
三维参数优化
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w OL,L U D%SOX N 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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