摘要
N5x I;UV9' s)sT\crP@ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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|]Y6*uEX< mQK3YoC) 设计任务
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&oFgZ . 5T'viG}% 2B_+5 光栅特性与参数的严格分析
-Gm}i8; hN!{/Gc| 不同光栅周期的衍射效率
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P(LiH I3}I7oc_ 考虑光栅周期的选择
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'\"5qB _) UnHp_^ 基于参数优化的光栅设计
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6 具有固定周期的二维参数优化
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(:}}p}u : T qeVf 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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NA#,q 8 hXD/ 不同光栅周期的
三维参数优化
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Mh@n>+IR pK0@H "$8 制造公差分析
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