[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 S;8=+I,  
mKV31wvK}  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l6xqc,h!K  
~mah.8G  
~=HPqe8  
\7xc*v [  
设计任务 QJR},nZ3  
eej#14&  
D?*du#6  
P$AHw;n[R  
)G]J@36  
光栅特性与参数的严格分析 g3%x"SlIU  
8<Yv:8%B6  
不同光栅周期的衍射效率 :(3'"^_NA  
~fcC+"7q/  
TBF{@{.d  
"? V;C  
考虑光栅周期的选择 lSd tw b  
:l Z\=2D  
G$Fo*;Fl  
偏振相关衍射特性 VRY@}>W'  
hmb=_W  
km lb,P  
+[S<"}ls7  
偏振相关衍射特性 z?`7g%Z?{  
KiC,O7&<  
]:?hU^H]<  
Sw[*1C8  
偏振相关衍射特性 $mf6!p4  
S4(?=,^-  
qla=LS\-A+  
^y|`\oyqwN  
基于参数优化的光栅设计 [fkt3fS  
k4:=y9`R}$  
具有固定周期的二维参数优化 '?{L gj^R  
}J\7IsM&  
^tjM1uaZ5(  
二维参数优化 - 设计＃1 7(LB}  
we*E}U4  
UK@hnQU8`  
$\20Vgu<  
二维参数优化 - 设计＃2 !@+4&B=  
w/(2fU(  
iZ ;562Mo  
!g~u'r'1  
制造公差分析 - 设计＃2 Di$++T8"  
4Xv."L  
QNj6ETB-d  
ukD:4sv  
不同光栅周期的三维参数优化 $V_w4!:Q  
hrfSe$8  
-Zg@#H  
Fj<a;oV  
制造公差分析 +~lPf.  
^Ri ; vM  
Q9JT6  
cI<T/~P  
走进VirtualLab Fusion   OF!n}.O(  
DPl&e-`  
7V~ gqum  
T(+*y  
VirtualLab Fusion 工作流程 -li;w tCS  
3.?oG5P#  
Hegj_FQ  
6a{b%e`  
VirtualLab Fusion技术 C7 9~@%T  
?SoRi</1