[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 \v
srBM  
^I{]Um:  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {_Qxe1^g  
hPxI& :N  

图片:1-1ZR2092134500.png

y^=oYL  
kkB
U<L2  
设计任务 5uo(z,WLR  
: xZC7"  

图片:1-1ZR209220C47.png

!)3s <{k#  
HiG/(<bs9O  
%h"< IA S.  
光栅特性与参数的严格分析 Wd
qK/s<jM  
C[nr>  
不同光栅周期的衍射效率 0xUj#)  
l :Nxl  

图片:1-1ZR209224S93.png

*'YNRM\}  
f#kevf9zc  
考虑光栅周期的选择 G=cH61  
9yo[T(8  

图片:1-1ZR2092315557.png

K=x1mM+RK  
偏振相关衍射特性 +)JqEwCrq  
"IG$VjgcB  

图片:1-1ZR20923422Y.png

+~Lzsh"  
`_U0>Bfg;  
偏振相关衍射特性 '1'1T5x~  
$pfe2(8  

图片:1-1ZR2092446256.png

XOg(k(&T  
~cBc&u:"  
偏振相关衍射特性 jL+}F/~r  
MD4 j~q\g  

图片:1-1ZR2092540b7.png

""'eT
pe  
sLa)~To
 
基于参数优化的光栅设计 2Lekckgv  
8+a<#?;  
具有固定周期的二维参数优化 wT~;tOw~  
aE+$&_>ef  

图片:1-1ZR209260I63.png

[l%fL9  
二维参数优化 - 设计＃1 M(zY[O
 
SE9u2Jk  

图片:1-1ZR209263E10.png

kqig
Fcz!Y  
60%~+oHi~  
二维参数优化 - 设计＃2 8N* -2/P&  
J s<MJ4r>/  

图片:1-1ZR2092F2136.png

y?z_^ppj  
p:<gFZb  
制造公差分析 - 设计＃2 O;BMwg_7  
uM)9b*Vbo  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

5'c+313 lm  
O|OSE  
不同光栅周期的三维参数优化 |@L &yg,x  
<fsn2[V:B%  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

AzO3(1:  
]7S7CVDk4  
制造公差分析 $ lsRg:J  
Rc:cVK  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

W[X!P)=w]  
7! b)'W?  
走进VirtualLab Fusion   wy_;+ 'Y  
?sf2h:\N  

图片:1-1ZR2092924332.png

76_8e{zbr  
ssX6kgq_(  
VirtualLab Fusion 工作流程 S5E,f?l  
6 ,pZRc  

图片:1-1ZR2092952P4.png

h
XQg=Sj  
TaQ "G  
VirtualLab Fusion技术 X:SzkkVl7  
f-v ND'@  

图片:1-1ZR2093031446.png