摘要
g;Fdm5Q D0#U*tq; 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
m&A bH&; ]Z[3 \~? .x$V~t 6%EpF;T`
设计任务
R.|h<bur -}@C9Ja[? B)/&xQu -~.+3rcZ] 1N),k5I 光栅特性与参数的严格分析
oxFd@WV5 K;/f?3q 不同光栅周期的衍射效率
FBNi (D O#tmB?n* CV|Ae [ i.9}bw
9u@ 考虑光栅周期的选择
TFbc@rfB o< b KUW )F 偏振相关衍射特性
f$ /C.E :V8oWMY v*excl~ 2;:]Q.g 偏振相关衍射特性
S%p,.0_ )cN=/i iMVQt1/ aQhT*OT{Q 偏振相关衍射特性
H|s Iw: "QfF]/: bjUe+#BL z@[n?t!7k 基于参数优化的光栅设计
MXVCu"g% (N}\Wft% 具有固定周期的二维参数优化
-{3^~vW|< D{]w+ a&)$s; 二维参数优化 - 设计#1
CNiJuj` x =JZ"|TE Md:*[]<~ sC.cMZ e 二维参数优化 - 设计#2
_z^&zuO @zR_[s 7B _Wz9y Xa8_kv_ 制造
公差分析 - 设计#2
v]drDVJ
IL8&MA% f$nZogaQ i/N6 8 不同光栅周期的
三维参数优化
aLevml2:T ,J*#Ixe} "(F:'J} X USf;}F:-C 制造公差分析
tG,xG& arPqVMVr D//Ts`}+n U,/9fzgd 走进
VirtualLab Fusion
wW/wvC- h" YA>_1 (j}Wt8 K0^+2lx VirtualLab Fusion 工作流程
Izfj
9h ? am
WIA`n= =WOYZ7 5o~AUo{ VirtualLab Fusion技术
">I50#bT G_p13{"IM