摘要
l6IpyIex }@>=,A4Y 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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wyvrNru<l4 H48`z'o 设计任务
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Z{ 光栅特性与参数的严格分析
%9B r xFvDKW)_X7 不同光栅周期的衍射效率
Vw0cf; H.cN(7LXm
UT!gAU 0 UdAF 考虑光栅周期的选择
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AvnK?*5!@ 偏振相关衍射特性
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No#1Ik w OW!cydA- 偏振相关衍射特性
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BBnW0vAZ* PEqO<a1Z8 偏振相关衍射特性
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g#b[-)Qx rK 9 基于参数优化的光栅设计
O/b~TVA wi]ya\(*yl 具有固定周期的二维参数优化
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9ReH@5_bGM 二维参数优化 - 设计#1
CGmObN8~'F T;!7GW4E
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yM}b mRVE@pc2X 二维参数优化 - 设计#2
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!}%,rtI =d07c 制造
公差分析 - 设计#2
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uLFnuK wV\;,(<x=% 不同光栅周期的
三维参数优化
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lFvRXV^+f UykOQ-2-n 制造公差分析
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