摘要
T-P@u-DU OV|Z=EwJ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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*i?.y*g H1Xov r 设计任务
D44I"TgqD ^Kw(&v
C4_t_N */U$sZQ) s^PmnFR 光栅特性与参数的严格分析
@3 "DBJ ? ).(fP 不同光栅周期的衍射效率
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Q-Y@)Mf~?0 ~7BX@? 考虑光栅周期的选择
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M9g1d7% 偏振相关衍射特性
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oZvG3_H4. YPQCOG 偏振相关衍射特性
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`S 偏振相关衍射特性
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L4mTs-M. EEg O 基于参数优化的光栅设计
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x 具有固定周期的二维参数优化
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二维参数优化 - 设计#1
{lKEZirO @f'AWeJ2
%J3lK]bv( -CZ-l;5 二维参数优化 - 设计#2
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h!;MBn`8 CY\mU_.b 制造
公差分析 - 设计#2
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7dx4~dF Jz2q\42q 不同光栅周期的
三维参数优化
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M,Po54u oPE.gn_$ 制造公差分析
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Is~yVB02 fjG /dhr 走进
VirtualLab Fusion
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