摘要
^fS_h`B R-f('[u 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4Xv."L 4!'4 l=jO 设计任务
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\C1`F[d_ .^rsVNG }72 +i 光栅特性与参数的严格分析
=}SC .E\ >-`-D=!V 不同光栅周期的衍射效率
L9z5o(Aa ( M3-S5
eE0nW+i 6WLq>Jo 考虑光栅周期的选择
VK}H; s8r[U, }(
f2Tz5slE 偏振相关衍射特性
0qN?4h)7 bGp3V. H
H|;BT $1D>}5Ex 偏振相关衍射特性
U4._a anUH'mcK*
6bbzgULl a
0qDRB 偏振相关衍射特性
DCSTp2 ,L(q/#p
EI&)+cC CX>QP&Gj 基于参数优化的光栅设计
~ \7peH% 'd< 1;Ayw 具有固定周期的二维参数优化
Gii1|pLZ1 2wYY0=k2
FWpb5jc)3 二维参数优化 - 设计#1
\ 3l3,VYH - I j
L' x[wM0w; <%LN3T 二维参数优化 - 设计#2
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=>)4>WT8A 制造
公差分析 - 设计#2
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uhr&P4EW h%%dRi 不同光栅周期的
三维参数优化
Z E},xU% |z.Z='`
uJt*> ;Kp "]1|%j 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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