摘要 :E9pdx+
_r:Fmn_%-
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Im6gWDdq@6
)U~|QdZ
pS$9mzY
cKTjQJ#
设计任务 "z9C@T
3t-STk?
}H
~-oYMu
d88A.Z3w
(\ab%M
光栅特性与参数的严格分析 )0/9
L
|enLv12Gm
不同光栅周期的衍射效率 Jl_W6gY"Z
bMKX9`*o
f2e;N[D
d5^^h<'
考虑光栅周期的选择 Y%;J/4dd
qur2t8gnxq
[q|W*[B:@
偏振相关衍射特性 v~SM"ky#
e@P(+.Ke
+,,(8=5g
lp(2"$nQ
偏振相关衍射特性 rt^~
I\V
_eGYwBm
LDQ,SS,
!q+ #JW
偏振相关衍射特性 dFBFXy
0`"oR3JY
p3vf7 eqn
9)wYSz'
基于参数优化的光栅设计 0si1:+t-[+
DKf(igw
具有固定周期的二维参数优化 >@7$=Y>D
[W3X$r~-
Qyw@ r
二维参数优化 - 设计#1 lpXGsKH2
[gT}<W
pVc+}Wzh
j&X&&=
二维参数优化 - 设计#2 fG1iq<~
b-
- tl@H
eA7
Iv{M
+ydd"`
制造公差分析 - 设计#2 {dZ]+2Z~+
hEHd$tH06
,NQ!d4~D
MsXw
8D
不同光栅周期的三维参数优化 0!,uo\`
~Ykn|$_"I
kqCsEtm]
%M`48TW)
制造公差分析 Nf([JP% 4
v \i"-KH
JaUzu3*=
+%YBa'Lk
走进VirtualLab Fusion `h@fW- r
'Ou C[$Z
R ` ViRJh
jRjeL'"G
VirtualLab Fusion 工作流程 Wh i#Ii~
>OaD7
6C2~0b
|'z8>1
VirtualLab Fusion技术 WGz)-IB!PE
Imv#7{ndq