摘要
>SXSrXyYX O1v)*&NAI 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
SRfh{u 2}&ERW q=t!COS kQ>2W5o-d- 设计任务
v_zt$bf{Y eJoM4v (m3hD)!+y KZ2[.[(Ph cH&)Iz`f 光栅特性与参数的严格分析
Lip#uuuXXN Q# hRnM 不同光栅周期的衍射效率
4<[?qd3v= 1]If<
< oB 1Qw'J
w O: :FB.k 考虑光栅周期的选择
"-f]d~P> 2E40& l`\L@~l n 偏振相关衍射特性
qlcd[Y*B `sm Cfh}j6 x/<ow4C >n,_Aj
c 偏振相关衍射特性
Fbo"Csn_ k^oSG1F {v*4mT dSwfea_ 偏振相关衍射特性
+c_AAMe o'lG9ePM| &m--} g/C 7wc 基于参数优化的光栅设计
3X(^`lAf) L<V20d9 具有固定周期的二维参数优化
$R}C(k
;? ; Pk"mC n@`3O'S 二维参数优化 - 设计#1
U)kyq d_
=K (}eR 9SeGkwec?$ .45wwouZkc 二维参数优化 - 设计#2
p>)1Z<D"a -}m W,~*pyLdO eSoX|2g 制造
公差分析 - 设计#2
L~ax`i1:" "dCIg{j E{6ku=2F .g/!u(iy 不同光栅周期的
三维参数优化
>*!T`P}p :(enaHn#~ |6NvByc, ( &m1* 制造公差分析
wp:$Tq a$ 2>"{El|PbN pXNhU88 Oi?Q^ISxP 走进
VirtualLab Fusion
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E S*}GW-)oA :C;fEJN VirtualLab Fusion 工作流程
^Whc<>| 5 n 4/}s ?Ho$fGz <;i&-, VirtualLab Fusion技术
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