摘要 ev bqBb21b
%B;e7
UJ
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >o#5tNm
iMr Np
O{sb{kk
RV*7?y%3
设计任务 q.
%[!O
SBj9sFZ
4h|48</
r306`)kX
>
xc7Hr~
光栅特性与参数的严格分析 G=[=[o\
}~Am{Er<l
不同光栅周期的衍射效率 H*l2,0&W
rUb`_ W@
E7XFt#P.
/uTU*Oe
考虑光栅周期的选择 :3,aR\
nm!5L[y!0
? qn0].
偏振相关衍射特性 ~S\Ee 2e>
l'_P]@*
2{<5?Op
t+R8{9L-
偏振相关衍射特性 xB1Oh+@i
ur'a{BI2R
qRD]Q
IX!Q X
偏振相关衍射特性 1^bI9 /
&x}a
kWv)+
tMWDKatb
基于参数优化的光栅设计 h\ZnUn_J
<i~MBy.
(
具有固定周期的二维参数优化 6LGy0dWpG
rek89.p
7=YjY)6r^
二维参数优化 - 设计#1 RCFocOOn
BE54^U
+Om(&\c(6
yu3T5@Ww
二维参数优化 - 设计#2 L'1p]Z"
aY^_+&&G
4M)
s
:hre|$@{a
制造公差分析 - 设计#2
vOb=>
Iz'*^{Ssm
9=(*#gRd
VEolyPcsg&
不同光栅周期的三维参数优化 hpftVEB
N# Ru`;
/65ddt
(T1)7%Xs
制造公差分析 b%w?YR
[m>kOv6>^
_Y7uM6HL\
l{:7*U{d
走进VirtualLab Fusion G(LGa2;Zg
/{eD##vhP
O|t@p=]
JLS|G?#0
VirtualLab Fusion 工作流程 SxC
7*bUy)UZ
/D]?+<