摘要
Z%UP6% 8}:nGK|kx 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
|[8Th4*n ]`WJOx4
QMm%@zH ;O,jUiQ 设计任务
} Q+|W=2t C0Z=~Q%
dWBA1p ns4,@C$ f|gg 光栅特性与参数的严格分析
8z\xrY E]r?{t`] 不同光栅周期的衍射效率
BiBOr}ZQ B9S@(/"7
dPRra{ R4d=S4i 考虑光栅周期的选择
BZ^}J!Q'* f|(M.U-
dj%!I:Q>u 偏振相关衍射特性
7G],T++N >yDZw!C
TA~{1_l FpU>^'2] 偏振相关衍射特性
Flb&B1 aw> #P
I%Z ,hmL/K0"(5 偏振相关衍射特性
c:.eGH_f Wc
'H
cB&:z)i4 ,2ar7
5Va 基于参数优化的光栅设计
\l3h0R 32
=z)]FZ 具有固定周期的二维参数优化
9N3eN Rf1x`wml
+"VP-s0 二维参数优化 - 设计#1
hpk7 Anp 8dhUBJ0_
*8XEYZa |Q>IrT 二维参数优化 - 设计#2
1BEHw?dLU vvOV2n.WD
e>7i_4(C Y <qm{e 制造
公差分析 - 设计#2
k VQ\1! D1;QC
:Ux_qB Af{"pzY 不同光栅周期的
三维参数优化
E4xa[iZ #LOwGJ$yVz
Du){rVY^d /u+e0BHo 制造公差分析
1-QS~)+ nFs(?Rv*
g=o4Q<
#^y ;9g2?-svw
走进
VirtualLab Fusion
>F&47Yn 7VI*N)OZ8
S21,VpW\ X\F|Tk3_ VirtualLab Fusion 工作流程
*uvQ\. !{41!O,K#
t&DEb_"De N17RLz *\ VirtualLab Fusion技术
%u5]>]M+ ^sg,\zD 'X