摘要
C>;}CH|X GY!&H"% 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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T}zi P )FB)ZK ; 设计任务
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3B_S>0H"$ 1rN&Y,61\ 8-m"] o3 光栅特性与参数的严格分析
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$71Ir ,^'Y7" 不同光栅周期的衍射效率
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"XH]B ?{FxbDp> 考虑光栅周期的选择
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@}[)uH 偏振相关衍射特性
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bkY7]'.bz& >s{[d$ 偏振相关衍射特性
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zRKg>GG` `aC#s3[ 偏振相关衍射特性
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:>cJ[K?0 ";GLX%C!{@ 基于参数优化的光栅设计
h+vKai |~>8]3. Y 具有固定周期的二维参数优化
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\zKVgywR 二维参数优化 - 设计#1
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NSx DCTw kQj8;LU 二维参数优化 - 设计#2
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C[[z3tn ?.4u'Dkn= 制造
公差分析 - 设计#2
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}g`A*y;t (5atU |8r 不同光栅周期的
三维参数优化
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mj|$D 制造公差分析
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