摘要
.}9FEn 8 *+8%kn`c 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
[.q(h/b "A]Y~iQ
zH'2s-.bi y67uH4&Vm 设计任务
`W[+%b 4VIg>EL*
Q-zdJt >$F:*lO +zRh
fIJHH 光栅特性与参数的严格分析
* Zd_
HJi K!b8= K` 不同光栅周期的衍射效率
Sue
6+p 2z983^
[F|+(} viuiqs5[Bi 考虑光栅周期的选择
DzPs!(5[I *=vlqpG
FD6v/Y 偏振相关衍射特性
fW~*6ln W@B7yP7Rz
(G8 +AK:(r 偏振相关衍射特性
:pd&dg!5 F^'v{@C
WOO%YU = PV,"-Nv, 偏振相关衍射特性
<*YO~S(R e~Hr(O+;e6
n(jjvLf ck$2Ue2`@w 基于参数优化的光栅设计
ZPF7m{S uu>lDvR* 具有固定周期的二维参数优化
|mj#
0 :^G%57NX
5OB]x?4] 二维参数优化 - 设计#1
5T/J% BPWnck=%
hNO)~rt [EGx 二维参数优化 - 设计#2
]xR4->eix /Ri,>}n
q2!'==h2i nx;$dxx_Ws 制造
公差分析 - 设计#2
4zzlazU d +xA:
k2OM="Ei} ja75c~RUw 不同光栅周期的
三维参数优化
M]B3vPA/v Uk02IOXQ
q5?L1 s$3`X(Pn 制造公差分析
U"B.:C2 lzoeST
.M+v?Ad 4OEKx|:5n 走进
VirtualLab Fusion
SKJW%(|3 Tc,$TCF
E&9!1!B C.HYS S VirtualLab Fusion 工作流程
&>V/X{>$`K 1C'P)f28
L"^.0*X/d od(:Y(4 VirtualLab Fusion技术
G)~MbesJ .ujj:>