摘要
q|5WHB ^Z (cVg 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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PW*Vfjf4 #83 设计任务
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D5zc{) / vc#o(?g _JH.&8 光栅特性与参数的严格分析
&{)<Q(g I0-1Hr 不同光栅周期的衍射效率
,#a4P`q'iC C&O8fNB_
K#FD$,c~ LP3#f{U 考虑光栅周期的选择
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QW..=}pL 偏振相关衍射特性
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/fQcrd7h -J]?M 偏振相关衍射特性
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<XL%* osc8;B/ 偏振相关衍射特性
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XRaGV~ Yjg$o:M 基于参数优化的光栅设计
R;"$ PHD h(WlJCln 具有固定周期的二维参数优化
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\:'GAByy 二维参数优化 - 设计#1
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+5fB?0D; R0M>'V?e 二维参数优化 - 设计#2
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CXUF=IE f y|JE9Io_ 制造
公差分析 - 设计#2
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Tp ;W .p{lzI9 不同光栅周期的
三维参数优化
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,):aU !19T=p/:$ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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