摘要
\@[,UZ niqknqW<t 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2Qt!JXC gxx#<=` 设计任务
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!2h ZtX k.z(.uc= ,u>[cRqw 光栅特性与参数的严格分析
q=}1ud}1 .+,U9e:% 不同光栅周期的衍射效率
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Z?xRSi2~7 0` .5gxm 考虑光栅周期的选择
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G[1\5dK*uR 偏振相关衍射特性
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Uo71C 4ev uFhaN\S 偏振相关衍射特性
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LT"H-fTgs ^GyZycch 偏振相关衍射特性
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"F%JZO51 X8">DR&>Y 基于参数优化的光栅设计
d$jwh(Ivs :eSsqt9]9 具有固定周期的二维参数优化
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ZP5 !O[Ut 二维参数优化 - 设计#1
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[iEz?1., A&bj l[s 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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r34MDUZdI ,|B-Nq 不同光栅周期的
三维参数优化
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`/ayg:WSU 5OppK(Oi*C 制造公差分析
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