摘要
n?8xRaEf Eu$hC]w 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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??,/85lM J,t`ilT 设计任务
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Jg# 光栅特性与参数的严格分析
'_FxxLAO b}Xh|0`b+ 不同光栅周期的衍射效率
Tvd: P^C GyQvodqD
*JiI>[ 2X 0<-Y#' 考虑光栅周期的选择
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F_nXsKem 偏振相关衍射特性
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P$&l1Mp WUGFo$xA 偏振相关衍射特性
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pLtK :Z SL?YU(a 偏振相关衍射特性
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rYrvd[/*&( 3|4<SMm 基于参数优化的光栅设计
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具有固定周期的二维参数优化
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oH(=T/{ 二维参数优化 - 设计#1
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$aHHXd}@t2 VI?kbqjo 二维参数优化 - 设计#2
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L#\5)mO.v )Kq@ m1>@ 制造
公差分析 - 设计#2
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_=HNcpDA;0 b fI= = 不同光栅周期的
三维参数优化
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\f@obp v[O?7Np 制造公差分析
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