摘要
Jh"[ug 3.&BhLT 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
GS;GJsAs zJDHDr $AK
^E6 %YG?7PBB 建模任务
w2LnY1A y_X6{}Ke yF)o_OA[uR n
Kkpp- 入射平面波
=s\$i0A2 波长 2.08 nm
$|$@?H>K 光斑直径: 3mm
>S5J^c 沿x方向线偏振
+k`L8@a3& %
km<+F=~ 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
:H}iL* 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
j0l,1=^>l xm m,-u 概览
/~LE1^1&U •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
ing'' _ •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
2Kxb(q" 91R#/i **q8vhJM 光线追迹模拟
_}[
Du/c •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
9o@3$ •点击Go!
U9
iI2$ •获得3D光线追迹结果。
|MNSIb&,W w2B)$u lm`*x=x := V?; 光线追迹模拟
?P9aXwc •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
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IW •单击Go!
}*x1e_m}H •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
n_kwtWX( z}vT8qoX f2gtz{r `KQx#c>' 光场追迹模拟
()lgd7|+ •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
^G4YvS( •单击Go!
/&gg].&2? rm-d),Zt /^=1]+_! IMM;LC%rD9 光场追迹结果(照相机探测器)
,_V V;P @eYpARF •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
^J^,@Hf_ •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
Nd0tR3gi7 (~~m 8VJ> I%d=c0>% [F<E0rjwM 光场追迹结果(电磁场探测器)
':.Hz]]/A S,5ok0R •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
eRUdPPq_d ItVN,sVJb p]aEC+q oU=vl!\J &d6@SQ "7cty\ /WQ.,a ^Iw$(