摘要
Vc3tKuMsiX ) =<,$|g 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
AlNiqnZ zxtx~XO Bl-nS{9" LXaT_3; 设计任务
d_&R>GmR$ A
e&t#,) 0(;d<u)fS Us'm9 J 1级
参数优化
Vh:%e24Z xT I&X9P c~(+#a MJJy
mi'b 结果-容差分析
Dx =ms^oN5 g*b`V{/Vw d_*'5Eia6 2JZf@x+} 结果-容差分析
-cCujDM#T iIq='xwa9 2/qP:3) I|JMkP VirtualLab Fusion一瞥
F_=RY] o~,dkV +?n81|7` Lc6Wj'G
G VirtualLab Fusion中的工作流程
6)m}e?D> w1/pwzn 构建光栅结构
p5c^dC{ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
<Brq7:n| −倾斜光栅高级设定[用例]
[y|"iSD •光栅衍射效率分析
-:`$8/A| −光栅阶序分析器[用例]
1FUadSB5) •使用参数优化进行光栅参数优化
Mf%0Cx ` •使用参数运行的容差分析
Qwb=N }s=D,_}m 7wsn8_n9 tK6z#) VirtualLab Fusion技术
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