[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 YtY.,H;  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 |@*   
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设计任务 ;Yn_*M/*  
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1级参数优化 fh@/fd  
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结果-容差分析 t)b /c:ql  
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结果-容差分析 Z%I9:(  
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VirtualLab Fusion一瞥 W^dRA xVX  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 >s"kL^  
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构建光栅结构 Y'M}lv$sa  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] /lN09j  
−倾斜光栅高级设定[用例] cUM#|K#6  
•光栅衍射效率分析 F` ]s  
−光栅阶序分析器[用例] 9Q*zf@w  
•使用参数优化进行光栅参数优化 btIh%OM  
•使用参数运行的容差分析 QD*(wj  
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VirtualLab Fusion技术 %'<m[wf^ o  
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