摘要
mD ^qx0o< @o3R`ZgC]\ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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V ~J2s :9!0 Rm 设计任务
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t6h`WAZV mSk :7ozZ 1级
参数优化
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{Xw Li |U#w?eE= 
'wB Huq $ !l2=^\3 结果-容差分析
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0r$hPmvv8 @7HOL-i 结果-容差分析
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ELgae1 1{Alj27 VirtualLab Fusion一瞥
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|B{$URu |`( ?<m VirtualLab Fusion中的工作流程
Q~w G(0'8 Lx:N!RDw 构建光栅结构
q5\LdI2 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
4QKE{0NE −倾斜光栅高级设定[用例]
jC Kt;lj •光栅衍射效率分析
&zh+:TRm −光栅阶序分析器[用例]
= C'e1=] •使用参数优化进行光栅参数优化
7 NB"oU^h% •使用参数运行的容差分析
3@cJ= R&=GB\`:a 
!^w\$cw& +}-W.H%` 0 VirtualLab Fusion技术
+&N &D"9A $m: a-.I 
