摘要
@XeEpDn] I4rV5;f
H4 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
B, 4q>KQA JRD8Lz]Q3 
Q6u{@$(/N ' Q\ @19 设计任务
pf R"s:# _Q>
"\_, 
3 sl=>;- v 5B"
A"N 1级
参数优化
w2k<)3 g~ Ah*wQow 
t
@;WgIp(& " <qEXX 结果-容差分析
UIQQ \,3 +a #lofhv 
i^R{Ul[ tzPC/? 结果-容差分析
Rl1$?l6R f *vb ^N0P 
4b]_
#7Qm }X.>4\B5 VirtualLab Fusion一瞥
Tj&'KF8?L ^/k , 
MvBD@`&7 Mxo6fn6-46 VirtualLab Fusion中的工作流程
/oFc 03d R0vww_ fz 构建光栅结构
B=r0?%DX"1 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
V`by*s −倾斜光栅高级设定[用例]
i =-8@ •光栅衍射效率分析
!Qcir&]C> −光栅阶序分析器[用例]
YwGH G{?e •使用参数优化进行光栅参数优化
3I]Fdp)' •使用参数运行的容差分析
w DMjk2 YN wra byRjK 
|gW
V'j@K!)~xR VirtualLab Fusion技术
nx B32 DKTD Z* 
