摘要
sfp.> bMj H {uR+&< 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
L?(m5u~b U%K gLg# 8\bZ?n#dn {5SJ0'.B2g 设计任务
(\4YBaGd WV;[v g] `a8 &7J( {DX1/49 1级
参数优化
;I>77gi`] +$R%Vbd P u}PE-b } 7i}dyQv} 结果-容差分析
s5ILl wr 3V/f-l]X/ RPkOtRKL=w f|,2u5
;z 结果-容差分析
6W'2w?qj?4 hOe$h,E'] ;n b>IL OQ _wsAA VirtualLab Fusion一瞥
+}C M2>M wEEFpn_ /?C6oj1 KvEZbf3f VirtualLab Fusion中的工作流程
Jh%k:TrBm h}%yG{'/M= 构建光栅结构
30h1)nQ$h} −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
J|b:Zo9<f" −倾斜光栅高级设定[用例]
GEAVc9V •光栅衍射效率分析
u
&{|f −光栅阶序分析器[用例]
_LLE~nUK"/ •使用参数优化进行光栅参数优化
w&}UgtEm •使用参数运行的容差分析
cKAZWON8;v 9R|B 5. ]K%D$x{+\ s`,. & VirtualLab Fusion技术
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