摘要
o U=vl!\J !Fl'?Kz 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
B.N#9u-vW EL,k z8 
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R
c4*zQJ 设计任务
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'/O:@P5qY <8WFaP3, 1级
参数优化
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D!`;v Z\> 1Vpti4 OmU 结果-容差分析
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u99a"+ oSCaP,P 结果-容差分析
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9c^ ,v_W@ U9oUY> 9 VirtualLab Fusion一瞥
ImN'o4vo Tpl]\L1v- 
=WTSaC z +MH co" VirtualLab Fusion中的工作流程
K<P d.: h'*v$lt 构建光栅结构
w/|&N>ZOx −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
zYzV!s2^ −倾斜光栅高级设定[用例]
4en3yA0.w •光栅衍射效率分析
BqNsW
(+ −光栅阶序分析器[用例]
wn"}<ka •使用参数优化进行光栅参数优化
NO!Qo: •使用参数运行的容差分析
f~VlC df+ b,'O|s]"Sc 
d{YvdN9d GLsa]}m,9 VirtualLab Fusion技术
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