[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 2L;=wP2?{  
5,oLl {S'  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 nA_'jl  
4)OOj14-V  
xM!9$v  
~XP|dn}  
设计任务 mjg@c|rTG  
{4A,&pR  
S>h\D
4.  
h!JyFc  
1级参数优化 jSHFY]2  
0;T7fKj  
o6;  
{DKZ~  
结果-容差分析 fNu/>pN  
QD{1?aY  
a%U#PF6   
u&c%L0)E&  
结果-容差分析 U^GVz%\  
p&V64L:V  
lb}RPvQE  
8rS;}Bt  
VirtualLab Fusion一瞥 "P@ SR`v#  
]NBx5m+y@i  
lEwQj[ k  
[^ r8P:Ad  
VirtualLab Fusion中的工作流程 [t3 Kgjt  
M&hNkJK*G  
构建光栅结构 (pv}>1  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] D8u`6/^  
−倾斜光栅高级设定[用例] UCmy$aW  
•光栅衍射效率分析 ebJTrh<{  
−光栅阶序分析器[用例] kZF<~U  
•使用参数优化进行光栅参数优化 7]1a3Jk  
•使用参数运行的容差分析 ^o _J0 ]m  
Yb<:1?76L  
gl`J(  
t7u*j
-YE  
VirtualLab Fusion技术 &}Wi@;G]2
 
r9N?z2X