摘要
'3kcD7 /k7wwZiY@ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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G\Q9IcJ0dY LE c8NQs 设计任务
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FyEDt@J <qiICb)~ 1级
参数优化
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z-0:m|=yH j=.g : &r) 结果-容差分析
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;x>;jS.t ehc<|O9tY VirtualLab Fusion一瞥
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.,8jE VirtualLab Fusion中的工作流程
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4) @]3*B %t 构建光栅结构
l/ V&s< −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
HRRngk#lV −倾斜光栅高级设定[用例]
\3 KfD'L •光栅衍射效率分析
"<dN9l> −光栅阶序分析器[用例]
F|]rA*2u •使用参数优化进行光栅参数优化
4 RO Wz •使用参数运行的容差分析
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sX;Nj] VirtualLab Fusion技术
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