[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 <kN4@bd;  
0
D+[W5TB  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 T@GT=1E)  
c3W9"  

图片:1-19110G51512293.png

1N{}G$'Go  
6oMU) DIa  
设计任务 eRKuy l  
N_rz~$|@9  

图片:1-19110G51541c6.png

\1cay#X  
}><VcouJ[  
1级参数优化 _CO?HX5ek  
!K-lO{Z^  

图片:1-19110G516302b.png

7g8}]\i+  
0}C> e`<'  
结果-容差分析 :W6`{
Z  
*pK bMG#  

图片:1-19110G51HWc.png

Anr''J&9`H  
AE?MEag  
结果-容差分析 l2vIKc  
/'k4NXnW3  

图片:1-19110G51K2c1.png

o@*eC L=  
-c|dTZ8D)8  
VirtualLab Fusion一瞥 z SDRZ!  
NF
8'O  

图片:1-19110G51Q9D8.png

5Iinen3>  
>-J%=P  
VirtualLab Fusion中的工作流程 R?MRRq  
_uwM%M;  
构建光栅结构 wCw-EGLR  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }%Mj`Bh  
−倾斜光栅高级设定[用例] -< D7  
•光栅衍射效率分析 7iMBDkb7  
−光栅阶序分析器[用例] m}ZkNWH  
•使用参数优化进行光栅参数优化 o81RD#>E)  
•使用参数运行的容差分析 ,' V
T75  
eB%hP9=:x  

图片:1-19110G51933119.png

:/UO3 c(  
(#I$4Px{  
VirtualLab Fusion技术 $WmB__  
omz%:'m`~  

图片:1-19110G52045463.png