摘要 _D tV
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 :F ?C)F
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设计任务 GTd,n=
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1级参数优化 y6a3t G
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结果-容差分析 [ (lW^ -
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VirtualLab Fusion一瞥 !nnC3y{G
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VirtualLab Fusion中的工作流程 E1
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构建光栅结构 :ws <-Qy
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {.Jlbi9!
−倾斜光栅高级设定[用例] 3v-~K)hl?
•光栅衍射效率分析
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−光栅阶序分析器[用例] "AqB$^S9t
•使用参数优化进行光栅参数优化 UEL _uij
•使用参数运行的容差分析 -9?]IIVb
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VirtualLab Fusion技术 ueNS='+m
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