[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 VY8p[`  
V%&t'H{  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 haW8zb0z  
/E(H`;DG  

图片:1-19110G51512293.png

HbF.doXK  
_)Uw-vhQiT  
设计任务 BM{GSX  
YMP:T?vMVh  

图片:1-19110G51541c6.png

9@C3jZ+9`H  
_#9:cH*  
1级参数优化 k%#`{#ni  
48M)A  

图片:1-19110G516302b.png

!mK
[kXo  
70&v
`"  
结果-容差分析 vOsd>3"  
sd
\>|N?'  

图片:1-19110G51HWc.png

8%JxXtWW`  
G5Y5_r6Gu  
结果-容差分析 8WV1OIL  
1Nx.
aji  

图片:1-19110G51K2c1.png

]9)pFL  
X"b4U\A  
VirtualLab Fusion一瞥 h{.KPK\  
1d!7GrD F  

图片:1-19110G51Q9D8.png

jD3,z*  
` 1DJwe2  
VirtualLab Fusion中的工作流程 .Ozfj@ f  
?HVsIAU  
构建光栅结构 }5bh,'  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] :N^1T6v  
−倾斜光栅高级设定[用例] S5d:?^PGg  
•光栅衍射效率分析 y|q4d(P.  
−光栅阶序分析器[用例] :SG9ygq'  
•使用参数优化进行光栅参数优化 &/R@cS6}'  
•使用参数运行的容差分析 xBU\$ToC  
P]T(I/\g  

图片:1-19110G51933119.png

g^8dDY[%  
0IBVR,q  
VirtualLab Fusion技术 +] B  
>yUThhJRn  

图片:1-19110G52045463.png