[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ,1{qZ(l1  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 J
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1级参数优化 (?Mn_FNE|  
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结果-容差分析 >+J}mo=*  
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VirtualLab Fusion一瞥 svmb~n&x6  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 %e]G]B%  
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构建光栅结构 JH\:9B+:L  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] z0rYzn?M
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−倾斜光栅高级设定[用例] b,+Sa
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•光栅衍射效率分析 LL e*|:  
−光栅阶序分析器[用例] ];k!*l
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•使用参数优化进行光栅参数优化 a_c(7bQ  
•使用参数运行的容差分析 *F%1~  
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VirtualLab Fusion技术 [QxP9EC  

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