[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 hB GGs  
vxilQp  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @7[.>I(  
ek;&<Z_ ]  

图片:1-19110G51512293.png

E23 Yk?"  
Rm\'];  
设计任务 UmD-7Fd  
X\$W'^np  

图片:1-19110G51541c6.png

r~D~7MNl  

,p/b$d1p  
1级参数优化 e ka@?`  
BtNW5'^  

图片:1-19110G516302b.png

1J{z}yPHc  
F#}1{$)% /  
结果-容差分析 eEriv@v  
T m@1q!G  

图片:1-19110G51HWc.png

5c}9  
h@m n GE  
结果-容差分析 PVkN3J  
-C'X4C+  

图片:1-19110G51K2c1.png

64\5v?C  
#G , *j  
VirtualLab Fusion一瞥 Vg,>7?]6h  
)D@n?qbG  

图片:1-19110G51Q9D8.png

*A1TDc$  
t{S{!SF4  
VirtualLab Fusion中的工作流程  ZV q  
[ls ?IFg  
构建光栅结构 )x:j5{>(  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] k@";i4}A  
−倾斜光栅高级设定[用例] C}P \kDM  
•光栅衍射效率分析 sQw`U{JG  
−光栅阶序分析器[用例] ATmqq)\s  
•使用参数优化进行光栅参数优化 97))'gC  
•使用参数运行的容差分析 5fx,rtY2sQ  
M+R)P+  

图片:1-19110G51933119.png

`)C`_g3Ew  
E#2k|TpH4  
VirtualLab Fusion技术 .iN*V|n  
F/od,w9_  

图片:1-19110G52045463.png