[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 v1j&oA}$.  
uHQf<R$:  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 id?B<OM  
G~+BO'U9'G  

图片:1-19110G51512293.png

rlpbLOG`  
nOQvBc  
设计任务 llE_-M2gH  
L|`(u  

图片:1-19110G51541c6.png

AZ7m=Q97  
+7V4mF!u  
1级参数优化 }\?]uNH  
/\wm/Yx?S  

图片:1-19110G516302b.png

eh6\y79g  
1w$X;q"  
结果-容差分析 8WP
|cF]  
5*hA6Ex7  

图片:1-19110G51HWc.png

&_o.:SL|  
0_f6Qrcj  
结果-容差分析 "Nh}_jO  
'2:HBJ  

图片:1-19110G51K2c1.png

O?OG`
{k  
2'-!9!C  
VirtualLab Fusion一瞥 p02E:?  
:$f9
(f&  

图片:1-19110G51Q9D8.png

Y7GHIzX  
"~,3gNTzV  
VirtualLab Fusion中的工作流程 1$RUhxT  
GS qt:<Qs  
构建光栅结构 pRc<U^Z.h  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [eLU}4v{  
−倾斜光栅高级设定[用例] (&@,ZI;  
•光栅衍射效率分析 di|5|bn7  
−光栅阶序分析器[用例] j1i<.,0g  
•使用参数优化进行光栅参数优化 E%e2$KfD  
•使用参数运行的容差分析 cz.,QIt_  
\Pt_5.bTs[  

图片:1-19110G51933119.png

c W^  
bo_Tp~j  
VirtualLab Fusion技术 )mh,F#"L  
b75en{aDi*  

图片:1-19110G52045463.png