[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 qC40/1-m8K  
KD*,u{v;  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 bN@V=C3  
l2U"4d!o  
W`K XO|'p@  
&aldnJ  
设计任务 9~bje^M  
&F*s.gL  
<7/_Vs)F0  
Glcl7f"<^  
1级参数优化 J5}-5sV^  
v{^_3 ]  
h #Od tc1)  
eyy{z;D8r  
结果-容差分析 hWwh`Vw%  
k5]s~*,0  
\1hbCv$Hf  
V|ax(tHv  
结果-容差分析 mnu4XE#|  
hS}?"ST|  
UP}Ys*  
")"VQ|$y  
VirtualLab Fusion一瞥 ?2_Oa%M  
Q\ TawRK8  
z;@;jQ7  
E!&A[TlX\  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ]tL9y<  
Lnbbv  *  
构建光栅结构 kG/:fP
 
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ,J"6(nk  
−倾斜光栅高级设定[用例] O&Q_vY  
•光栅衍射效率分析 S)of.Nq.;  
−光栅阶序分析器[用例] d76k1-m\o  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Ol6jx%Je`  
•使用参数运行的容差分析 ;3OQgKI  
hC
?:XVt  
W'u6F-$2  
P7O$*  
VirtualLab Fusion技术 xV[X#.3  
P?VGY