摘要
xe^M2$clb\ %f'=9pit 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Y# I8gzv p:4-b"O 
2*^=)5Gj-h ZV:df 6S 设计任务
C[<{> fl) +'SL5d* 
NC!B-3?x 4Cc hE15 1级
参数优化
cuH5f }oc [TQYu:e 
J~xm[^0 x1Y/^ks@2 结果-容差分析
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*Gv:N6 n:B){'S 结果-容差分析
P`O`Mw EAf J/D~]U 
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+BC2x VirtualLab Fusion一瞥
-(e=S^36 [kpQ:'P3 
6W /eU\ B^k VirtualLab Fusion中的工作流程
5 (!F Q 7[0Mr,^ 构建光栅结构
hrD2 -S −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
!]}C!dXd −倾斜光栅高级设定[用例]
t5_76'@cX •光栅衍射效率分析
]K8G}|Wy6 −光栅阶序分析器[用例]
(w2lVL& •使用参数优化进行光栅参数优化
h?;03>6A&] •使用参数运行的容差分析
RT vOaZ
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J =8Y D"1 J!RR G~ VirtualLab Fusion技术
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