[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 C^8n;i9  
g;To}0H  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]
)3(@.  
.Qz412  

图片:1-19110G51512293.png

t+<?$I[  
4<(U/58a*  
设计任务 :7Jpt3  
0V[`zOO(o  

图片:1-19110G51541c6.png

NGq@x%T  
z(g6$Y{  
1级参数优化 CS|al(?~  
-}$mv  

图片:1-19110G516302b.png

49d02AU%  

pf[m"t6G~  
结果-容差分析 {sb2r%U!+  
ngI3.v/R  

图片:1-19110G51HWc.png

rS&"UH?c7  
yHNx,ra
 
结果-容差分析 vn5O8sD  
Ka+N5 T.f  

图片:1-19110G51K2c1.png

aRE%(-5  
h5^qo ^;g7  
VirtualLab Fusion一瞥 yh:Wg$qx
 
 J*FUJT  

图片:1-19110G51Q9D8.png

R?L?6~/q  
fs,]%g^  
VirtualLab Fusion中的工作流程 v_L2>Pa.  
_ISaO C{2-  
构建光栅结构 >^N{  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [8v>jQ)  
−倾斜光栅高级设定[用例] 'Tbdo >y  
•光栅衍射效率分析 %=[xc?  
−光栅阶序分析器[用例] 3GVS-?  
•使用参数优化进行光栅参数优化 poU1Q#+4p*  
•使用参数运行的容差分析 jL]Y;T8  
.4O
~a  

图片:1-19110G51933119.png

s=[T
,:Z  
}8&?  
VirtualLab Fusion技术 UEeq@ot/4  
vp|'Yy(9z  

图片:1-19110G52045463.png