摘要
;[Xf @xf iu{;| E 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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kuLur)^ Je"X IhBr 设计任务
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=d~pr:.F d KXzFyW 1级
参数优化
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>D##94PZ MVQ6I/EA4 结果-容差分析
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mo4F\$2N S}Z@g 结果-容差分析
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FvG VirtualLab Fusion一瞥
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@3b @]l5 &>Y.$eW_ VirtualLab Fusion中的工作流程
.DnG}884 fOsvOC 构建光栅结构
\ ux {J −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
tK+JmbB\ −倾斜光栅高级设定[用例]
RMs8a ZCa •光栅衍射效率分析
FL$S_JAw −光栅阶序分析器[用例]
3T 0'zJ2f •使用参数优化进行光栅参数优化
w!d(NA<|0] •使用参数运行的容差分析
V!@6Nv h<C R W- 
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i VirtualLab Fusion技术
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