[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 oB0 8  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &*aer5?`  
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建模任务 =s0g2Zv"\  
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概述 }0BL0N`_  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,TF<y#wed  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >G<\1R  
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光线追迹仿真 {5QosC+o6Q  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HZDk <aU/!  
•单击go！ ~VqFZasV  
•获得了3D光线追迹结果。 H_?;h-Y]  
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光线追迹仿真 G-\<5]k]  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YKP=0 j3,  
•单击go！ S}.\v<  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rDIhpT)a  
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场追迹仿真 GFdZ`i  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |x d@M-ln  
•单击go！ hz<|W5  
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场追迹仿真（相机探测器） W *YW6  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5U0ytDZ2/(  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E x_L!9>!  
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场追迹仿真（电磁场探测器） d@-wi%,^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4JGE2ArR  
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场追迹仿真（电磁场探测器） shM{Y9~O9&  

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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M$,Jg5Dc  
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