摘要
!We9T )e 9kzJ 5} 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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Nf5zQ@o_y w #d7 建模任务
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>6KwZr BB 概述
u?4d<%5R! ] \1H=g%Ou •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
YB+My~fw{l •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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,. HS )<B ~v@.YJoZ4Z 光线追迹仿真
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[ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
a9 uMgx} •单击go！
^\oMsU5( •获得了3D光线追迹结果。
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84_Y+_9 W5uC5C*,l 光线追迹仿真
hg7_ZjO yJ:rry •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
v =_Ds<6n •单击go！
"sSY[6Kp! •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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ctoh&5%!n+ N^{}Qvrr 场追迹仿真
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6`@6k2] •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
mKLWz1GZ •单击go！
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98maQQWD 场追迹仿真（相机探测器）
o?d`o$ bt"5.nm •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
Elt" tJ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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r 场追迹仿真（电磁场探测器）
/&E]qc*-p •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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KP`Pzx 场追迹仿真（电磁场探测器）
B@ >t$j K VFK]{!C_ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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