[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Aq'~'hS`1  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n1R{[\ >1  
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建模任务 Y|/,*,u+  
j#p3<V S4  

图片:1-1911251A00R22.png

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概述 :Us+u-~  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ts=TaRwWf  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fp3`O9+em  
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图片:1-1911251A211D3.png

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+^rt48${ y  
光线追迹仿真 j&8GtE1b  
~@}n}aV'!  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n{m[ j+UG  
•单击go！ =gd~rk9  
•获得了3D光线追迹结果。 /;}o0 DYeW  
}C=+Tn  

图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 VIod6Vk  
+&M>J|  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (ze
9-!%  
•单击go！ 5GJa+St
?  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 RWJyd=  
H:16aaMn(  

图片:1-1911251A311b4.png

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uXG$YDKqC  
场追迹仿真 DsHm,dZ  
IFF1wfC   
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [raj: 7yQ  
•单击go！ I "R<XX  
kidv^`.H$w  

图片:1-1911251A335531.png

$JK,9G[Vu  
P}!pmg6V  
场追迹仿真（相机探测器） bl|)/)6o  
TD!c+${w  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7Mh!@Rd_V  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "1Y DT-I"  
Vk1 c14i>  

图片:1-1911251A41O04.png

W{]r_`=:6S  
dA(+02U/.  
场追迹仿真（电磁场探测器） I]91{dq  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jb7^'P  
[bBPs&7u  

图片:1-1911251A519A0.png

"Z-YZ>2  
@< 0c  
场追迹仿真（电磁场探测器） '|yBz1uL  
P@Pe5H"o  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Te>m9Pav  
0A75)T=lQ  

图片:1-1911251A5594c.png