[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 lC4PKmno  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 "koo` J  
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概述 EZ{\D!_Y  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 mV;3ILO  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^)<w*iqBD  
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光线追迹仿真 \4QH/e  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Qsji0ikG  
•单击go！ ^RDU p5,T  
•获得了3D光线追迹结果。 u(Rk'7k  
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光线追迹仿真 *(Ro;?O,pi  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~1ps7[  
•单击go！ o3\
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )#PtV~64  
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场追迹仿真 K:a3+k d
 
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ZRPy~wy>  
•单击go！ Xb0!( (A  
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场追迹仿真（相机探测器） /tzlbI]z  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gi1j/j7  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )ji@k(x27q  
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场追迹仿真（电磁场探测器） #h{Nz/h+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bs P6\'\4  
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场追迹仿真（电磁场探测器） -$9~xX  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5;(0 $4I  
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