[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 E>bpq^;r  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 gm7 [m}  
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建模任务 #S"s8wdD  
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概述 Jj~|2Zt  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '8;'V%[+  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pg{cZ1/  
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光线追迹仿真 W:O
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \W7pSV-U  
•单击go！ =LKf.@]#  
•获得了3D光线追迹结果。 xpBQ(6Y  
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光线追迹仿真 ]E#W[6'VtB  
=4gPoS  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xMFEeSzl>S  
•单击go！ 2W}jbOy  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )oy+-1dE  
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场追迹仿真 %<<JWoB  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M"yOWD~s~  
•单击go！ D7g 
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Y)DF.ca(  
场追迹仿真（相机探测器） ,@\z{}~v  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f9vitFkb+  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 e'.CIspN  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 9K-,#a  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZP ]Ok  
FSYs1Li_C  

图片:1-1911251A519A0.png

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S84S/y  
场追迹仿真（电磁场探测器） jtgj h\Nt  
0 gR_1~3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y~@(  
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