[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 DM {r<?V  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2ghTAsUx9  
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建模任务 B#RBR<MFC  
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概述 e$HN/O  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
P$LHsg]  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zN}1Qh  
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( R2432R}J  
光线追迹仿真 /^_~NF#  
5G5P#<Vv  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 qKoD*cl)Za  
•单击go！ tQ!p<Q= $)  
•获得了3D光线追迹结果。 @JJ,$?  
Axb,{X[6g  

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光线追迹仿真 tBR"sBiws  
LxD >eA  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8MUY  
•单击go！ fL^+Qb}  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 h)S223[  
$ = uz  

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QuG=am?l`  
场追迹仿真 =W+ h.?  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 s?qRy 2  
•单击go！ iWCR5c=  
Qsv3`c  

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hC1CISm.U  
y3!r;>2k=  
场追迹仿真（相机探测器） -nBb -y  
>%qk2h>  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z4qw*. 5  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~Sq!P  
+7yirp~`K  

图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） c?@
WNv  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 syuW>Z8s
  
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%}< e;t-O  
场追迹仿真（电磁场探测器） K7G|cZ/^  
K})=&<M0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N0Y$QWr_$  
px|y_.DB2x  

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