[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 /[qLf:rGI  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B)x^S >  
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建模任务 vX?C9Fr2  
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概述 7/HX!y{WP  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +3k.xP?QS  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7sU+
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光线追迹仿真 kpRk.Q*  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #h#_xh'  
•单击go！ }ww`Y&#  
•获得了3D光线追迹结果。 [1l OGck[  
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光线追迹仿真 N[I ?x5:u  
p@?ud%  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Uuktq)NU  
•单击go！ q>6RO2,  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BQ=JZ4&  
+Mb}70^  

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场追迹仿真 T5-Yqz  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z6
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•单击go！  O[$XgPM  
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场追迹仿真（相机探测器） 4WPco"xH!  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `*xSn+wL`_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [sK'jQo-[1  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） sRQ4pnnrn  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1I%niQv5t  
QS@eqN  

图片:1-1911251A519A0.png

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_`Dz%(c  
场追迹仿真（电磁场探测器） yQq|!'MKk  

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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m
j ,Oy  
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