[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ^~%zPlv  
d^.fB+)A3  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 tkGJ!aUt  
\aG:l.IM0  

图片:1-191125164532947.png

wFJ?u?b0Q  
ij=}
3;L_!  
建模任务 i
%)Nn^a;T  
v/yt C/WH"  

图片:1-1911251A00R22.png

Hc{0O7  
概述 h .Iscr^~  
?"[h P=3J  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yy6?16@  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ard<T}|N  
]}&f
<X  

图片:1-1911251A211D3.png

Sy<s/x^`  
s~(iB{-  
光线追迹仿真 Ya)s_Zr7  
8Dq;QH}  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2nRL;[L*.  
•单击go！ EO5k?k[*  
•获得了3D光线追迹结果。 v*7lJNN.  
e/;chMCq  

图片:1-1911251A23G14.png

Gq/f|43}@O  
n8eR?'4  
光线追迹仿真 'B>%5'SdD  
Z)zWfv}  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 cR1dGNcp/@  
•单击go！ 6h|@Bz/A  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 }bVWV0Aeim  
+89s+4Jn  

图片:1-1911251A311b4.png

xED`8PCfu  
zW_V)UNe  
场追迹仿真 I%NPc4p  
,HxsU,xiG  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #w4=kWJ[  
•单击go！ >k?/'R  
btK| U  

图片:1-1911251A335531.png

H3"[zg9L:a  
Gw$sL&1m\  
场追迹仿真（相机探测器） y4HOKJxI  
zOpl#%"  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6N&S3<c4JO  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RrkS!E[C  
`A)9   

图片:1-1911251A41O04.png

#cBt@SEL'  
>69+e+|I  
场追迹仿真（电磁场探测器） l
GI5  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o?f7_8fG  
uw@z1'D[i"  

图片:1-1911251A519A0.png

fa#]G^f  
}TZ5/zn.Dw  
场追迹仿真（电磁场探测器） 7 N?x29  
Oph4&Ip[w  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L)'JkX J  
)*I=>v.Jq  

图片:1-1911251A5594c.png