[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 c:!zO\P#  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 cgu~  
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建模任务 Mj=$y?d ]  
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概述 ;lX(}2tXW  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z)9g~g94  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nz.{P@[Qk  
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光线追迹仿真 QnouBrhO  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =:,xxqy  
•单击go！ P,DC7\  
•获得了3D光线追迹结果。 `/&SxQB<  
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光线追迹仿真 3uu~p!2  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tMx}*l|]  
•单击go！ BKa- k!  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6M.;@t,Y  
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场追迹仿真 qZEoiNH(Tj  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C#;jYBtT7?  
•单击go！ ^rl"rEA  
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场追迹仿真（相机探测器） AwUi+|7r])  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gwd (N  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rx"s!y{!-  
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场追迹仿真（电磁场探测器） q@5K6yE  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5l-mW0,MK  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ^&/G|  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R #]jSiS  
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