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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-04-11
    摘要 -1c{Jo  
    +'!Y[7|9iv  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 R&9Q#n-  
    d0D*S?#8,C  
    M*7:-Tb]C  
    @szr '&\%A  
    建模任务 >j_N6B!  
    ) |j?aVqZ  
    hLF;MH@  
    概述 ayh= @7*  
    l&oc/$&|[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 FgTWym_  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5;q{9wvqO  
    g0>Q* x  
    g~]?6;uu  
    > ,;<Bz|X  
    光线追迹仿真 )k6kK}  
    ^]ig*oS\`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 se&Q\!&M  
    •单击go! C5x*t Q|  
    •获得了3D光线追迹结果。 ;T*o RS  
    k`h#.B J  
    C9L_`[9DO  
    "ot# g"  
    光线追迹仿真 >m# bj^F\  
    *5d6Q   
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ky=h7#wdv-  
    •单击go! eH^~r{{R  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 M}x]\#MMY  
    {W$K@vuV;?  
    h@%a+6b?  
    2+cpNk$  
    场追迹仿真 9s&Tv&%VN  
    = ow=3Ku  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HMqR%A  
    •单击go! V2LvE.Kj  
    4rrR;V"}  
    ]3]=RuQK2  
    *I9O+/,  
    场追迹仿真(相机探测器) s"B+),Jod  
    )>I-j$%=2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 r>cN,C  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 njckPpyb@  
    @^Yr=d ba  
    VCQo3k5 {  
    {B[ }}wX$  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ubUVxYD?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6QAhVg: A  
    f[wxt n'r  
    VMH^jCFp  
    ,)ZI&BL5  
    场追迹仿真(电磁场探测器) /_</m?&.U&  
    do:IkjU~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }No8to  
    fs0EbVDF  
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