[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 &{? M} 2I  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1\fx57a\  
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建模任务 !An?<Sv$  
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概述 zd[k|lj  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^y@ W\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R0qZxoo  
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光线追迹仿真 $Y7VA  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |yk/iO(  
•单击go！ .T3N"}7[  
•获得了3D光线追迹结果。 rNk'W,FU  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 p?L%'  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QQW}.>N  
•单击go！ S9!KI)  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %/uLyCUZ  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 k( Sda>-  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LY0f`RX*&  
•单击go！ *1EmK.-'u  
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场追迹仿真（相机探测器）  `vH|P  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 6agq^wI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JxinfWk  
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图片:1-1911251A41O04.png

n,FyK`x  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ML>M:Ik+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ht%qjE  
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图片:1-1911251A519A0.png

z@VL?A(3  
tn$TyCzckW  
场追迹仿真（电磁场探测器） rY(7IX  

lOcFF0'
 
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1\( N,'h  
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