[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 VcR(9~  
v"G)G)*z  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S`GM#(t@_  
:HG5{zP  

图片:1-191125164532947.png

j /=4f�  
w@ =Uf7  
建模任务 tXnD>H YV  
"#a,R^J  

图片:1-1911251A00R22.png

6H}8^'/u  
概述 KN9e""  
O*7`Waag  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q%A.)1<'_  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x(/{]$h  
9N]V F'  

图片:1-1911251A211D3.png

h*\/{$y  
ZJ|'$=lR  
光线追迹仿真 'VTLp.~G~  
zwJVi9sO  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ON<X1eU  
•单击go！ _l;$<]re\k  
•获得了3D光线追迹结果。 _lj&}>l  
!*l5%H  

图片:1-1911251A23G14.png

\zPcnDB  

+_LWN8F  
光线追迹仿真 OwM.N+z#T  
Cn>RUGoUsI  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !%4&O  
•单击go！ ESAFsJ$r;  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R3=]Av46  
VD
P \E<3"  

图片:1-1911251A311b4.png

WMLsKoby  
i+HHOT  
场追迹仿真 "~&d=f0m  
mlD 1 o  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =^LX,!2zp{  
•单击go！ V;#bcr=Z<J  
7D%}(pX  

图片:1-1911251A335531.png

_<i*{;kR6  
^|1)6P}6  
场追迹仿真（相机探测器） .;xt{kK  
uY6|LTK&x  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H(TY.  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 CAl]Kpc  
z_LN*u  

图片:1-1911251A41O04.png

B:Xmc,|,  
nmZJ%n  
场追迹仿真（电磁场探测器） psZAO,p  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9cm9;  
"2'pS<|  

图片:1-1911251A519A0.png

+/E yX=  
KLn.v
A.  
场追迹仿真（电磁场探测器） xiW;Y{kZ  
a!US:^}lu  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'sCj|=y2Qc  
TE.O@:7Z  

图片:1-1911251A5594c.png