[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 SK$Vk[c]  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P%X-@0)  
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建模任务 c#xP91.m  
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概述 /-0' Qa+*  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lu UYo  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2Ohp]G  
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光线追迹仿真 wz -)1!  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 BQ05`nkF  
•单击go！ ,yLw$-  
•获得了3D光线追迹结果。 O2-M1sd$  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 e9u@`ZC07  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 p*;Qz  
•单击go！ |;;!8VO3J  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 aW5~Be$ _  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ,&a`d}g&G  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T<jfAE  
•单击go！
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@eQld\h'  
场追迹仿真（相机探测器） zsTbdF  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q/6UK =  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @Y'I,e  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） ~oi_r8K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +*EKR  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） \K`jCsT  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _Dq Qfc%  
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