摘要 "k%B;!We)
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 lbg^ 2|o~~
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建模任务 y,OwO4+y\
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概述 WV8?zB1
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 nYF *f
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .bT|:Q~@{
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光线追迹仿真 ONkHHyT
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 tHj |_t
•单击go! &d8z`amP
•获得了3D光线追迹结果。 @}^eyS$|!
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光线追迹仿真 OGjeE4
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L< gp "e
•单击go! H:DTvv8e{
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 xzRs;AXOp
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场追迹仿真 VgSk\:t
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #n[1%8l,
•单击go! pNHO;N[&
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场追迹仿真(相机探测器) #xopJa Y
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #]@<YKoV{
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 l^F%fIRp)
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场追迹仿真(电磁场探测器) R`RLq1WA
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B f_oIc
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场追迹仿真(电磁场探测器) Tu'/XUs;k
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U~mv1V^.
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