[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ;s.5\YZ"k  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 lc?mKW9  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 }>X\"  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 Etc?;Z[F#  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j[J@tM#  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M:UB>-`bW  
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图片:1-1911251A211D3.png

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ENx@Ex
 
光线追迹仿真 nB@iQxcz  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 j_'rhEdLP  
•单击go！ }vUlTH  
•获得了3D光线追迹结果。 ^8oc^LOa~2  
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图片:1-1911251A23G14.png

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3ES[ N.V#  
光线追迹仿真 jFNs=D&(  
<\d|=>;  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <.=#EV^i  
•单击go！ j #I:6yA3  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?%xhe  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 <f.>jjwFE  

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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4%!{?[$  
•单击go！ |j~EV~AJ  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） /y9J)lx  
I)XOAf$6  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 EAD0<I<>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 .mT#%ex  
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图片:1-1911251A41O04.png

W`Q$t56  
uh5Pn#da^  
场追迹仿真（电磁场探测器） [<Os~bfOv  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X<Th{kM2  
zY1s7/$i  

图片:1-1911251A519A0.png

eg2U+g4  
2]V>J  
场追迹仿真（电磁场探测器） i[2bmd!H
 
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GDHK.?GY  
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图片:1-1911251A5594c.png