[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 \8>  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g:uvoMUD  
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建模任务 *l>[`U+  
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概述 KdOh'OrT9.  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }@rg5$W  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6m, KL5>W  
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光线追迹仿真 X zi'Lu`  
p@?7^nIR*u  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b(PHZCy#  
•单击go！
QvG56:M3  
•获得了3D光线追迹结果。 3bbp>7V!  
dN$ 1$B^k  

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光线追迹仿真 18
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1A7%0/K-]  
•单击go！ o}9M`[  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !Y ;H(.A/  

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场追迹仿真 U0NOU#  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 eV[`P&j_C  
•单击go！ nc3sty1`  
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场追迹仿真（相机探测器） !UBy%DN~k  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 jrIA]K6  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mND XzT&  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） :z B}z^8-  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p]wP36<S!  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） oS~}TR:}  
ao)Ck3]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +
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