[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Xj^6ZJc  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'Y+AU#1~H  
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建模任务 %t0Fx  
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概述 X75>C<  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 *LeFI%  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (Q !4\Gy  
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光线追迹仿真 sk!v!^\_r  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @.fuR#  
•单击go！ zIWw055W  
•获得了3D光线追迹结果。 GZ\;M6{oh  
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光线追迹仿真 ]
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~$>l@> xX  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 nMD^x  
•单击go！ SF61rm  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k,M%/AXd  
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场追迹仿真 9iWDEk  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .]%PnJM9K  
•单击go！ (7
x5  
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场追迹仿真（相机探测器） EvIL[\Dy  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Mw
@T!)(
 
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9@Yk8  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 9 )u*IGj  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QRXsLdf$$  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） %(Sy XZ  
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+}  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (E59)z -  
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