[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 PT
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0k[2jh  
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建模任务 f j<H6|3  
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概述 =G${[V\  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H3O@9YU  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;y1Q6eN  
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光线追迹仿真 ..qd,9H  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \N6\v5vh  
•单击go！ +%#8k9Y  
•获得了3D光线追迹结果。 Qvqqvk_tv  
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光线追迹仿真 ZFxLBb:  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Qc"'8kt  
•单击go！ ^[q /Mw  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 b"CAKl  
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场追迹仿真 Q*ju sm  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 SW 8x]B  
•单击go！ 0b-?q&*_  

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场追迹仿真（相机探测器） d8x%SQ!V  
M\2"gT-LV  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5ukp^OxE  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p2O~>97t1  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ukAKFc^)k  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q{' ~+Nq  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6NLW(?]  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2U$"=:Cf  
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