摘要
9K)OQDv%6D ;2bG-v'4vO 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
.
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tuUk48!2I jMd's|#OP 建模任务
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;qzCoe 概述
{;z3$/JB b;S~`PL •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
u8o!ncy •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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}3N8EmS WL$WWA08_ 光线追迹仿真
9]hc{\ 8mx5K-/,y^ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
Pyk~V)~M •单击go!
:Z`4ea"w •获得了3D光线追迹结果。
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}g(aZ %OW[rbE. 光线追迹仿真
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n>! E ] •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
+IJpqFH •单击go!
%s<7|, •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
zW+Y{^hf MA"iM+Ar
\Z57U NI pk"JcUzR 场追迹仿真
B?TAS e2Xx7*vS •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
xG<S2R2VQh •单击go!
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zRsA[F# IK}T.*[ 场追迹仿真(相机探测器)
i?|K+"=D mflI> J=g •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
o@;w!' •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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?u8+F tD>m%1'& 场追迹仿真(电磁场探测器)
")Bf^DV •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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vqL{~tR 4"7Qz z 场追迹仿真(电磁场探测器)
e {c.4'q w*bVBuXs •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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