摘要
[m*E[0Hu -a ^%9 U 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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> ^fpQG W##~gq Z/ 建模任务
VM.4w.})_E f!H~BMA+a 
v@qU<\Y> 概述
zw2qv ' u lA|| •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
0Z11V9Jk •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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6=aXz2 .f b23 5Zm 光线追迹仿真
%U< 1] 3EVAB0/$ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
;Z asK0 •单击go！
)XFaVkQ} •获得了3D光线追迹结果。
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i 6DcLE [$x&J6jF. 光线追迹仿真
.)Wqo7/Gx *)8!~Hs •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
lx)Bj6 •单击go！
9w"kxAN •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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uE;bNs' F\ Z|JCA 场追迹仿真
Y}n$s/O:u8 t
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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•单击go！
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- ^f>=xa4J ^+MG"|)u~ 场追迹仿真（相机探测器）
JNx;/6'd, #Rj&PzBe •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
0rA&Q0 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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X$0&tmum i^Ip+J+[ 场追迹仿真（电磁场探测器）
a0/[L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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u]$e@Vw. " 0sk(kT 场追迹仿真（电磁场探测器）
cq0#~20 I%b}qC"5M •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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