[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 y@3Q;~l,  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !MoOKW  
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建模任务 eLV.qLBUs  
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概述 #Ao !>qCE  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WL U}  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1HbFtU`y~  
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光线追迹仿真 [jrqz
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zTY;8r+  
•单击go！ SE)nD@:  
•获得了3D光线追迹结果。 @?Zf-.  
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光线追迹仿真 =K(JqSw+M  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?3q@f\fZ  
•单击go！ 3v1 7"  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ){P^P!s$  
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场追迹仿真 fF;h V  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h5GU9M  
•单击go！ m Ni2b*k  
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场追迹仿真（相机探测器） xu\eXx6H  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4 1t
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 zzIr2so  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 5 1dSFr<#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ri)uq\E/#  
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场追迹仿真（电磁场探测器） h`Tz5% n  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0*F}o)n/m  
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