[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 "LHcB]^<  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )#EGTRdo  
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建模任务 ED2a}Tt>Z  
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概述 7P%%p3  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %"kPvI3Y  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 aKV$pC<[o  
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光线追迹仿真 mH54ja2  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N@;?CKU  
•单击go！ \n"{qfn`r  
•获得了3D光线追迹结果。 y>R=`A1b  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 )}''L{k-  
 NO2XA\  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 t#yk->,  
•单击go！ (ScxLf=]  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n+! AnKq  
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场追迹仿真 ,368d9,rDz  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @M<|:Z %.@  
•单击go！ anuL1fXO  
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场追迹仿真（相机探测器） t^VwR=i  

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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [l:x'_y  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H12Fw'2  
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图片:1-1911251A41O04.png

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|VKK#J/  
场追迹仿真（电磁场探测器） oYHj~t  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {Z{75}  
z^KJ*E  

图片:1-1911251A519A0.png

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OL5v).Bb  
场追迹仿真（电磁场探测器） 5Y?L>QU"  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }L &^xe  
W"724fwu&  

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