[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 7(C:ty9  
CRPE:7,D  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 YU/?AQg  
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建模任务 ^JAp#?N^9  
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概述 5+
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Q+ZZwqyxD  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 puox^  
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光线追迹仿真 i7%`}t  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }Dx.;0*:  
•单击go！ T}59m;I  
•获得了3D光线追迹结果。 ) (0=w4  
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光线追迹仿真 H`1q8}m  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !wTrWD!  
•单击go！ q1Mt5O}  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 P|t2%:_  
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场追迹仿真 0X5b32  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3:T~$
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•单击go！ iP6?[pl8  
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场追迹仿真（相机探测器） *Sps^Wl  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 wsB  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #_WkV  
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场追迹仿真（电磁场探测器） {vdY(  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E;wT4 T=  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3)I]bui  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LW k
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