[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 [.j&~\AG  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >#Ue`)d`aY  
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建模任务 FX,kmre3  
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概述 '74*-yd  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {&,MkWgG  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DT#F?@LG(  
N,ysv/zq7  

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Zv&<r+<g  
光线追迹仿真 6TkV+\  
*1`q x+1  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M>g%wg7Ah  
•单击go！ TKs l.|  
•获得了3D光线追迹结果。 R.P|gk  
^={s(B2  

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光线追迹仿真 }>$3B5}  
X-k$6}D  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'gv~M_  
•单击go！ -?vII~a9y  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +Jw+rjnP  
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场追迹仿真 ZZ2vdy38  
GMOnp$@H^s  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n}L Jt  
•单击go！ 7v]9) W=y  
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场追迹仿真（相机探测器） #fT<]j(
 
g(QT"O!dY  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9:JQ*O$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 CXd/M~:!  
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图片:1-1911251A41O04.png

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Vqp3'=No  
场追迹仿真（电磁场探测器） S pIdw0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 05s{Z.aK  
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图片:1-1911251A519A0.png

Z# o;H$  
Bv{DZ?{s  
场追迹仿真（电磁场探测器） O/Mx$Q3re  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e+O502]  
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