[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 U:eX^LE7  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &m[}%e%~0  
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建模任务 }NGP!  
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概述 s'l|Ii  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 uTPAf^|  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =3SJl1w1  
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光线追迹仿真 re#]zc<  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =5fY3%^b{  
•单击go！ iS<1C
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•获得了3D光线追迹结果。 I*(kv7(c0  
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光线追迹仿真 &b*v7c=o  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QJiH^KY6  
•单击go！ #2:?N8vz*  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 f?eq-/UR  
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场追迹仿真 HrFbUK@@  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n@"<NKzh  
•单击go！ ;V?(j3b[  
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场追迹仿真（相机探测器） n c~JAT#'  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g+Q
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )1@%!fr  
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场追迹仿真（电磁场探测器） kjdIk9 Y  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s~B)xYmyB'  
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场追迹仿真（电磁场探测器） t98S[Z(-%+  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?Ov~\[) F  
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