[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 qD!qSM  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *5T^wZpj)  
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建模任务 Q &~|P}  
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概述 z'"e|)  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 VO u/9]a  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?/3'j(Gk  
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光线追迹仿真 ;8Qx~:c  

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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,9~=yC  
•单击go！ {wJ8% ;Z7  
•获得了3D光线追迹结果。 j{&*]QTN  
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光线追迹仿真 >a%C'H.A9  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tXXnHEz  
•单击go！ nY M2Vxi0+  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ka=EOiX.  
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场追迹仿真 @h=r;N#/`P  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vCX
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•单击go！ 5.M82rR;~  
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场追迹仿真（相机探测器） .(g"(fgF  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )`5=6i  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 I
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场追迹仿真（电磁场探测器） nq%GLUH   
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q@(tyW+8U@  
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场追迹仿真（电磁场探测器） b=PB"-  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3]rd!Gp=*  
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