[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 n(Nu
 
5r 4~vK  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3v_j*wy  
?P[:,0_  

图片:1-191125164532947.png

 DlCN  
LAk
 .f  
建模任务 </_QldL_  
]>)shH=Yx
 

图片:1-1911251A00R22.png

j;}-x1R  
概述 &q|
vvF<G  
kum@cA  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )x\%*ewY  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 tZ62T{, a  
rR@]`@9  

图片:1-1911251A211D3.png

9{fP.ifdv7  
m33&obSP  
光线追迹仿真 YM;ro5_KF  
W gyRK2#!  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @Un/,-ck  
•单击go！ X~VI}dJ  
•获得了3D光线追迹结果。 axC{azo|  
Ld_uMe?Z  

图片:1-1911251A23G14.png

QmSj6pB>  
;q-c[TZC  
光线追迹仿真 sT1OAK\^  
4qDO(YWf  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 46T(1_Xt~  
•单击go！ Zex~ $r  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <#BK(W~$  
aK6dy\  

图片:1-1911251A311b4.png

]p+KN>1e  
4ZUtK/i+r  
场追迹仿真 oO[eer_S-  
tBzE(vW  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _"Y7}A\9  
•单击go！ `/m]K~~  

-]KgLgJ  

图片:1-1911251A335531.png

U*K4qJ6U  
M)K!!Jqh  
场追迹仿真（相机探测器） c(Y~5A{TXO  
1 M!4hM Q  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 hO> q|+mC  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  Yf[Cmn  
C\"C12n{  

图片:1-1911251A41O04.png

Oq<3&*  
.6[8$8c  
场追迹仿真（电磁场探测器） v,Kum<oi?  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !2AD/dtt  
AiR#:r  

图片:1-1911251A519A0.png

,~$sJ2 g7  
`Qb!W45  
场追迹仿真（电磁场探测器） tC1'IE-h  
IG}yGGn  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -TH(Z(pB  
fGj66rMGw  

图片:1-1911251A5594c.png