[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 c,xdkiy3  
(dq_,LI  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~t)cbF(UO  
-N*[f9EJB  

图片:1-191125164532947.png

{ c#US  
)2Ei<  
建模任务 Hu"$)V  
w$:\!FImx  

图片:1-1911251A00R22.png

=&z+7Pe[  
概述 7GOBb|  
1'qXT{f/~  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bzFac5n)Q  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5vyg-'  
^OKm (  

图片:1-1911251A211D3.png

x95s%29RS  
"E\vdhk  
光线追迹仿真 A0<g8pv  
qWhW4$7x  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Wx:v~/r  
•单击go！ ;k!.ey$S  
•获得了3D光线追迹结果。 #<xFO^TB  
.;4N:*hY  

图片:1-1911251A23G14.png

6Qkjr</  
X5iD<Lh  
光线追迹仿真 |M;Nq@bRv  
ku5|cF*%  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4Hz3KKu  
•单击go！ klUV&O+=%  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \6|y~5Hw{r  
5-X$"Z|@  

图片:1-1911251A311b4.png

TRi'l#m4  
s9ix&m  
场追迹仿真 \p(S4?I7  
ni/s/^  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 JKZVd`fF  
•单击go！ 28"1ONs3  
;0dH@
b  

图片:1-1911251A335531.png

|HycBTN#E  
LO_Xrj  
场追迹仿真（相机探测器） PEI$1,z  
PaaMh[OmG  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 D`p2aeI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 NPH(v`  
xw8k<`  

图片:1-1911251A41O04.png

4mDHAR%D  
CH4Nz'X2  
场追迹仿真（电磁场探测器） -dM~3'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (2;Aqx5i  
]Ozz"4Z  

图片:1-1911251A519A0.png

6|EOB~|  
nOPB*{r|  
场追迹仿真（电磁场探测器） I0F[Z\U  
MGF!Z
Z\  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &}u_e`A  
1'hpg>U  

图片:1-1911251A5594c.png