摘要
A &;EV#]ge <?nB,U 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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X!2.IsIS8 = ]WW'~ 建模任务
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^#}dPGm 概述
LAizx^F 5>N6VeM •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
0I(udd G3 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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[..,( /0Rt +` 光线追迹仿真
C,9)V5!tP2 :~WPY9i` •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
0zlM.rjEZ •单击go！
u'#`yTB6b •获得了3D光线追迹结果。
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}g%KvYB_ 3"HGEUqA 光线追迹仿真
7=$+k]U8 v; je <DT •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
L`<T'3G •单击go！
4jDs 0Hn" •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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"$`wk 场追迹仿真
D{ Hh#x8Y ?7fQ1/emhO •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
SJ1w1^#Pz •单击go！
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Uu 场追迹仿真（相机探测器）
q[PD @Fm{6^ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
fW_} !`: •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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*/0vJz%<.M zbF:R[ ) 场追迹仿真（电磁场探测器）
[ u`17hyX •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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H<rnJ lpM>}0v 场追迹仿真（电磁场探测器）
*` @XKK s=\LewF1< •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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