摘要
zm)
]cq zvYkWaa_Qz 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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^;@q^b)ZP P66{l^ 建模任务
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*T$o" *} 概述
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}+< vpcx 1t< •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
H !Z=}>TN •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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vBx*bZ akHcN]sa2 光线追迹仿真
eU 'DQp* 8M*[RlUJB •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
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=@BYqiY •单击go！
zJWBovT/ •获得了3D光线追迹结果。
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Da*=uW9 " - S2${ 光线追迹仿真
8-5MGh0L exrsYo!% •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
w~+5F SdH •单击go！
_+YCwg •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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8 7P{vf# m6tbN/EJZ 场追迹仿真
{.pR$]6B"+ ,L%\ {bp5 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
S453oG" •单击go！
SO% x=W \GS]jhEtn 
QEK,mc3 H7n5k, 场追迹仿真（相机探测器）
A]" $O&l rTYDa3 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
s `fIeP •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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f$N sG`|| Kb;n 场追迹仿真（电磁场探测器）
l[lUmE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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.r[b!o^VR w^MU$ubx •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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