[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 l;@bs  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 b5?kgY  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 dF5y' R'  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?Ss~!38  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :ciD!Ly  
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图片:1-1911251A211D3.png

UID`3X  
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光线追迹仿真 $LcMG,8%_  
xNa66A-8  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $GHi9aj_P  
•单击go！ 8"p rWAN  
•获得了3D光线追迹结果。 /SyAjZ  
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图片:1-1911251A23G14.png

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Spn)M79  
光线追迹仿真 b|iIdDK  
s'OK])>`  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4UK>Vzn  
•单击go！ I!Mkss xc  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 TI\EkKu"  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 nB]mj_)R^  
Bwu?DK  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tu/4  
•单击go！ -B(p8YH  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） BuUM~k&SY  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 CrG!8}  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 t:xTmK&vt  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） \Co Z+  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p["pGsf  
="PFCxi  

图片:1-1911251A519A0.png

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F,n  
1=ZQRJW0B  
场追迹仿真（电磁场探测器） 2izBB,# "  
ln":j?`  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B\% Gp}  
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