[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 rp5(pV7*  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :SxW.?[%u  
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建模任务 8u!
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概述 XJ2^MF2BU  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3BpZX`l*p  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Z'H5,)j0R  
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光线追迹仿真 ZylJp
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 S~]mWxgZ  
•单击go！ ;W>Y:NCrp  
•获得了3D光线追迹结果。 G<M:Ak+~  
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光线追迹仿真 N25V]  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4[r/}/iGo  
•单击go！ 85;b9k&\M  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]jpu,jz:  
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场追迹仿真 Ged
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Mkq( T[)  
•单击go！ sl*5Y#,|1  
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场追迹仿真（相机探测器） n<B<93f
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `-3o+ID\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 UJs$q\#RO  
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场追迹仿真（电磁场探测器） GA`PY-Vs)  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fg#x7v4O  
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场追迹仿真（电磁场探测器） *%vwM7  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `<[6YH_  
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