[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 X5WA-s(?0  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g=:o'W$@  
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建模任务 |
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概述 RDps{),E;d  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,=
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 bTs2$81[  
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光线追迹仿真 Tv%7=P;r  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Zma;An6  
•单击go！ 0fc;H}B*  
•获得了3D光线追迹结果。 =Jp:dM*  
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光线追迹仿真 Wvb ~j  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0>[]Da}  
•单击go！ |=5zI6pT  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8UB2 du@?  
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场追迹仿真 r'noB<|e  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q8m~L1//S  
•单击go！ O0}uY:B  
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场追迹仿真（相机探测器） 8kKL=  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8{Wl  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {?
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场追迹仿真（电磁场探测器） jd]L}%ax  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "yymnIQ3u  
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场追迹仿真（电磁场探测器） kNP-+o  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ESviWCh0Fl  
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