[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 g+xw$A ou  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Oe51PEqn  
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建模任务 Q$~n/  
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概述 ` J]xP$)  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 +`B'r '  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ha%F"V*  
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光线追迹仿真 i0:>Nk  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KVkMU?6  
•单击go！ ]5' d&f  
•获得了3D光线追迹结果。 (CJ.BHu]  
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光线追迹仿真 {^}0 G^  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 rv>^TR*,!  
•单击go！ $bvJTuw  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C$d>_r  
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场追迹仿真 j}:~5|.  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k`\R+WK$  
•单击go！ >\2:
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场追迹仿真（相机探测器） FS"eM"z  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uuNR?1fS  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 WC,+Cn e  
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图片:1-1911251A41O04.png

R@iUCT^$  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ;sPoUn s'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mee$"Y  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） _oFs #kW  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q=uRKh  
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