[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 oP:OurX8V  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?zYR;r2'b)  
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建模任务 Oj
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概述 Qqp=  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LEAU3doK;  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G%%5lw!y'  
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光线追迹仿真 &qm:36Y7Xg  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 # tU@\H5kN  
•单击go！ ItG|{Bo  
•获得了3D光线追迹结果。 <7j"CcJzZ  
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光线追迹仿真 ?1H>k<Jp  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 92^Dn`g  
•单击go！ p8z"Jn2P  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B,A\/%<  
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场追迹仿真 9YwS"~Q =w  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -n6T^vf  
•单击go！ 31mlnDif  
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场追迹仿真（相机探测器） XKbTjR  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^bXCYkx  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'WoB\y569  
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场追迹仿真（电磁场探测器） w6'8L s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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场追迹仿真（电磁场探测器） mCEWp  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6X$iTJ[\x  
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