[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 kKQD$g
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O sIvW'$\  
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建模任务 e=6C0fr  
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概述 d_Y7/_i  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LwCf}4u"  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 E7Pz~6  
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i\P)P!  
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光线追迹仿真 I_h&35^t  
&14Er,K  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K<w$  
•单击go！ @X>Oj.  
•获得了3D光线追迹结果。 7pz #%Hf  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 >*goDtTjp  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {`1gDKH  
•单击go！ },G5!3  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3N5b3F  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 .:=G=v=1  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h#rziZ(  
•单击go！ ;/g Bjp]H  
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场追迹仿真（相机探测器） *Z,?VEO  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7$u}uv`j  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 05gdVa,  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） V 0M&D,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DYFfq  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） [Y_CRxa\u  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wYAi-gdOi  
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