[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 $#FlnM<=  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 # pB:LPEsK  
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建模任务 G1_@! 4  
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概述 "HfU,$[  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #*$@_  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 +
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光线追迹仿真 A=C3e4.C  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nWF4[<t  
•单击go！ zHOE.V2Qo  
•获得了3D光线追迹结果。 y*b.eO  
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光线追迹仿真 !GGGh0Bj  
IPR tm!  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _d| 62VS  
•单击go！ 71"JL",  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y0B1xL@  
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场追迹仿真 MhI)7jj`mt  
/4 LR0`A'  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @fH&(@  
•单击go！ n?LIphc
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场追迹仿真（相机探测器） yb4tJu$  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
Lcs{OW,  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y /:T(tk$  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） |[37:m  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q|u8CX  
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图片:1-1911251A519A0.png

+:,`sdv6o  
|N$?_<H  
场追迹仿真（电磁场探测器） IjDT'p_  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \5[D7}  
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